Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ISO 14644-2-2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
Скачать документ нельзя Можно заказать бесплатно один документ
Международные и зарубежные стандарты ( ASTM, ISO, ASME, API, DIN, BS и др.) не предоставляются в рамках данной услуги. Каждый стандарт приобретается платно с учетом лицензионной политики Разработчика.
Любые авторские документы, размещенные на сайте, представлены в соответствии с признанным в международной практике принципом «как есть» (“AS IS”), получены нами из открытых источников. Актуализация документов не производится, информацию о статусе, актуальности и полных атрибутах документов можно найти в тиражных системах «Техэксперт» либо в других источниках.
Возможно вас заинтересуют
ISO 14644-17-2021 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 17: Particle deposition rate applications
BS EN ISO 14644-16-2019 Cleanrooms and associated controlled environments Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
ISO 14644-15-2017 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
BS EN ISO 14644-3-2019 Cleanrooms and associated controlled environments Part 3: Test methods
BS EN ISO 14644-4-2022 Cleanrooms and associated controlled environments Part 4: Design, construction and start-up
BS EN ISO 14644-5-2004 Cleanrooms and associated controlled environments Part 5: Operations