ASTM E1162-2011 (R 2019) Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

Документ ASTM E1162 представляет собой стандартную практику, предназначенную для отчетности данных профиля глубины распыления в методе масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS). Основное назначение данного стандарта заключается в установлении единых требований к представлению и интерпретации данных, получаемых при анализе материалов с использованием метода SIMS, что позволяет обеспечить сопоставимость и достоверность результатов между различными лабораториями и исследованиями.

Стандарт регламентирует ключевые аспекты, такие как методы получения профилей глубины, параметры анализа, требования к калибровке и условиям испытаний. В частности, он описывает процедуры, которые должны быть соблюдены для обеспечения точности и повторяемости измерений, включая выбор и подготовку образцов, а также использование стандартных образцов для калибровки оборудования.

Важные технические детали, указанные в стандарте, включают условия испытаний, такие как давление в камере, тип используемого ионного источника и настройки масс-спектрометра. Также описываются измеряемые величины, включая концентрацию элементов на различных глубинах и профили распределения, что позволяет исследовать структуру и состав материалов на наноуровне.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей, научные лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся оценкой качества и безопасности материалов. Стандарт служит важным инструментом для специалистов, работающих в области материаловедения, аналитической химии и микроэлектроники, обеспечивая единые подходы к анализу и интерпретации данных.

Практическое значение ASTM E1162 заключается в повышении качества и безопасности материалов, используемых в различных отраслях, таких как электроника, фармацевтика и нанотехнологии. Стандарт способствует улучшению охраны труда и совместимости материалов, так как точные данные о составе и структуре позволяют избежать потенциальных рисков, связанных с использованием некачественных или несовместимых компонентов.

В последние годы в стандарт были внесены изменения, касающиеся уточнения методов калибровки и более детального описания процедур анализа. Эти дополнения направлены на улучшение понимания и применения стандартной практики в современных условиях, что позволяет обеспечить более высокую степень надежности и воспроизводимости получаемых данных.