ASTM E1505-1992 Standard Guide for Determining SIMS Relative Sensitivity Factors from Ion Implanted External Standards

Документ ASTM E1505-1992 представляет собой стандартное руководство, предназначенное для определения относительных коэффициентов чувствительности SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) на основе внешних стандартов, внедрённых ионов. Основная цель данного документа заключается в обеспечении согласованности и точности измерений, проводимых с использованием метода SIMS, что является критически важным для научных исследований и промышленных приложений в области материаловедения, полупроводниковой технологии и других смежных областях.

Стандарт регламентирует методы и процедуры, необходимые для получения относительных коэффициентов чувствительности, что позволяет пользователям сравнивать результаты, полученные с использованием различных ионных источников и условий анализа. В документе описываются параметры, такие как выбор стандартов, условия ионной имплантации, а также методы калибровки и валидации результатов. Эти аспекты способствуют повышению надежности и воспроизводимости результатов, получаемых в лабораторных условиях.

Технические детали, указанные в стандарте, включают спецификации относительно условий испытаний, таких как давление, температура и тип используемых ионов. Также рассматриваются классификации материалов, которые могут быть проанализированы с помощью SIMS, и измеряемые величины, что позволяет пользователям точно интерпретировать полученные данные. Важно, что стандарт учитывает различные вариации в условиях анализа, что позволяет адаптировать методику под конкретные требования.

Целевая аудитория данного документа включает производителей, исследовательские лаборатории, а также органы контроля качества, которые занимаются анализом материалов и разработкой новых технологий. Стандарт предоставляет необходимую информацию и рекомендации, которые помогают специалистам в осуществлении точных и надежных измерений, что, в свою очередь, способствует улучшению качества продукции и соблюдению нормативных требований.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда при проведении анализов. Применение данного руководства может значительно повысить уровень совместимости различных методов анализа и оборудования, используемого в промышленности. Стандарт также может быть обновлён, чтобы учесть новые достижения в области науки и технологий, что делает его актуальным для современных требований к качеству и безопасности.