ASTM E1634-2011 (R 2019) Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements

Документ ASTM E1634 представляет собой стандартное руководство, посвященное методам измерения глубины кратеров, образованных в результате распыления. Основное назначение данного документа заключается в предоставлении четких указаний для выполнения таких измерений, что имеет важное значение в области материаловедения и аналитической химии. Стандарт применяется в различных отраслях, включая производство полупроводников, покрытия и наноматериалы, где точность и воспроизводимость измерений критически важны.

В документе регламентируются основные методы, параметры и процедуры, которые необходимо соблюдать при проведении измерений глубины кратеров. В частности, описываются различные техники, такие как профилометрия и методы оптической интерферометрии, которые позволяют получать точные данные о глубине кратеров. Также подчеркиваются важные требования к оборудованию и условиям испытаний, включая параметры распыления и характеристики используемых материалов.

Ключевыми техническими деталями, упомянутыми в стандарте, являются условия, при которых должны проводиться испытания, а также классификации и измеряемые величины. Например, документ описывает влияние различных факторов, таких как угол распыления и давление, на результаты измерений. Это позволяет специалистам более точно интерпретировать полученные данные и улучшать процессы контроля качества.

Целевая аудитория стандарта включает производителей, исследовательские лаборатории и контролирующие органы, заинтересованные в обеспечении высоких стандартов качества и безопасности. Стандарт ASTM E1634 помогает пользователям устанавливать и поддерживать надежные методы измерений, что, в свою очередь, способствует улучшению качества продукции и соблюдению нормативных требований.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость материалов, используемых в различных отраслях. Соблюдение рекомендаций, изложенных в ASTM E1634, позволяет минимизировать риски, связанные с неправильными измерениями, и повышает общую эффективность производственных процессов. Если документ претерпел изменения или дополнения, они касаются уточнения методов и улучшения требований к оборудованию, что делает его более актуальным для современных технологий.