ASTM F1153-1992 (R 2002) Standard Test Method for Characterization of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Structures by Capacitance-Voltage Measurements

Документ ASTM F1153 представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для характеристики структур на основе металлооксидного кремния (MOS) с помощью измерений емкости-Напряжение (C-V). Этот стандарт применяется в области полупроводниковой технологии и электроники, где требуется оценка электрических свойств MOS-структур для разработки и контроля качества компонентов, таких как транзисторы и диоды.

Ключевыми аспектами стандарта являются методы измерения, параметры испытаний и требования к оборудованию. Стандарт описывает процедуры, которые позволяют исследовать зависимость емкости от напряжения, что является критически важным для определения характеристик MOS-структур. В частности, внимание уделяется точности измерений, условиям проведения испытаний и необходимым калибровкам оборудования.

Важные технические детали включают в себя спецификации условий испытаний, таких как температура и влажность, а также классификацию измеряемых величин, таких как емкость, напряжение и частота. Стандарт также акцентирует внимание на необходимости использования стандартных образцов для калибровки и проверки точности измерений, что обеспечивает высокую надежность получаемых данных.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей полупроводниковых устройств, лаборатории, занимающиеся тестированием и исследованием, а также контролирующие органы, которые отвечают за соблюдение норм и стандартов в области электроники. Стандарт служит важным инструментом для обеспечения единообразия и достоверности результатов испытаний в данной области.

Практическое значение ASTM F1153 заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость полупроводниковых устройств. Применение данного стандарта способствует улучшению надежности и производительности электронных компонентов, что, в свою очередь, влияет на общую безопасность и эффективность электрических систем. Стандарт также учитывает современные требования к охране труда и экологии, что делает его актуальным для производителей, стремящихся к устойчивому развитию.

С момента своего появления стандарт ASTM F1153 претерпел некоторые изменения и дополнения, направленные на улучшение методов измерений и расширение области применения. Эти изменения обеспечивают более точные и надежные результаты, что является важным для дальнейшего развития технологий в области MOS-структур и полупроводниковой электроники.