ASTM F120-1988 STANDARD PRACTICES FOR DETERMINATION OF THE CONCENTRATION OF IMPURITIES IN SINGLE CRYSTAL SEMICONDUCTOR MATERIALS BY INFRARED ABSORPTION SPECTROSCOPY

Документ «ASTM F120-1988» представляет собой стандартные практики, предназначенные для определения концентрации примесей в одно кристаллических полупроводниковых материалах с использованием инфракрасной спектроскопии. Он применяется в области полупроводниковой технологии, где точное измерение уровней примесей критически важно для обеспечения качества и производительности электронных устройств. Стандарт охватывает методы, параметры и процедуры, которые обеспечивают достоверность и воспроизводимость результатов анализа.

Ключевыми аспектами данного документа являются описания методик, позволяющих проводить спектроскопические измерения в определённых условиях, а также требования к оборудованию и квалификации персонала. Стандарт включает рекомендации по подготовке образцов, настройке спектроскопов и интерпретации полученных данных. Это обеспечивает высокую степень точности в определении концентраций различных примесей, таких как кислород, углерод и другие элементы, влияющие на свойства полупроводников.

Важные технические детали включают спецификации по условиям испытаний, таким как температура, влажность и другие факторы окружающей среды, которые могут повлиять на результаты анализа. Также документ описывает классификацию измеряемых величин и стандарты для калибровки оборудования. Эти аспекты являются критически важными для достижения согласованности и надежности в процессе измерений.

Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, лаборатории, занимающиеся их анализом, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение качества и безопасности продукции. Применение данного стандарта способствует повышению уровня доверия к результатам испытаний и обеспечивает соответствие международным требованиям в области качества.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых устройств, а также на охрану труда. Соблюдение рекомендаций стандарта позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественных материалов, что в свою очередь способствует улучшению эксплуатационных характеристик конечной продукции. В случае изменений или дополнений к стандарту, они обычно касаются уточнений в методах измерений или новых рекомендаций по оборудованию, что позволяет поддерживать актуальность и эффективность практик.