ASTM F1227-1989 (R 1999) Standard Test Method for Total Mass Loss of Materials and Condensation of Outgassed Volatiles on Microelectronics-Related Substrates

Документ ASTM F1227 представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для определения общего массового потерь материалов и конденсации выделившихся летучих веществ на подложках, связанных с микроэлектроникой. Этот стандарт применяется в области разработки и производства микроэлектронных компонентов, где критически важна оценка воздействия выделяющихся веществ на качество и надежность конечной продукции.

Основные аспекты, регламентируемые данным стандартом, включают методы испытаний, параметры испытательных условий и требования к оборудованию. Стандарт описывает процедуры, позволяющие количественно оценить массовые потери материалов при определенных температурах и давлениях, а также методы анализа выделяющихся летучих веществ, что позволяет получить данные о потенциальных рисках для функциональности микроэлектронных устройств.

Важные технические детали стандарта касаются условий испытаний, таких как температура, длительность испытания и методы сбора данных. Измеряемыми величинами являются общая масса потерянных веществ, а также их состав, что позволяет проводить дальнейший анализ на предмет совместимости с другими материалами и компонентами. Стандарт также включает классификации материалов в зависимости от их летучести и устойчивости к выделению веществ.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей микроэлектронных компонентов, лаборатории, занимающиеся тестированием материалов, а также контролирующие органы, которые обеспечивают соблюдение норм и стандартов в области микроэлектроники. Использование данного стандарта позволяет всем участникам процесса гарантировать высокое качество продукции и безопасность её использования.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и долговечность микроэлектронных устройств. Применение ASTM F1227 способствует снижению рисков, связанных с выделением вредных веществ, что, в свою очередь, повышает уровень охраны труда и экологической безопасности. Стандарт также способствует улучшению совместимости материалов, используемых в микроэлектронике, что является важным аспектом в условиях современного производства.

В последние годы в стандарт были внесены изменения, касающиеся уточнения методов испытаний и расширения диапазона материалов, подлежащих оценке. Эти дополнения направлены на улучшение точности измерений и более полное отражение современных требований к качеству и безопасности микроэлектронных компонентов.