ASTM F1239-2002 Standard Test Methods for Oxygen Precipitation Characterizations of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction

Документ «ASTM F1239-2002» представляет собой стандартные методы испытаний для характеристики осаждения кислорода в кремниевых пластинах посредством измерения снижения интерстициального кислорода. Основное назначение документа заключается в предоставлении четких и воспроизводимых методик, которые могут быть использованы для оценки уровня интерстициального кислорода в кремнии, что имеет важное значение для полупроводниковой промышленности.

Стандарт регламентирует несколько ключевых аспектов, включая процедуры подготовки образцов, условия испытаний и методы измерения. В частности, документ описывает способы определения содержания интерстициального кислорода, а также параметры, которые необходимо учитывать при проведении испытаний, такие как температура и продолжительность процесса. Эти аспекты критически важны для обеспечения точности и надежности получаемых данных.

Важные технические детали, включенные в стандарт, касаются условий, при которых проводятся испытания, а также классификации кремниевых пластин в зависимости от уровня кислорода. Измеряемыми величинами являются концентрация интерстициального кислорода, а также изменения в структуре кристаллической решетки, которые могут происходить в результате осаждения кислорода. Эти измерения помогают в оценке качества кремниевых пластин и их пригодности для дальнейшего использования в производственных процессах.

Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковой продукции, лаборатории, занимающиеся испытаниями, а также контролирующие органы, обеспечивающие соблюдение стандартов качества. Стандарт предоставляет необходимую основу для оценки и контроля качества кремниевых пластин, что в свою очередь влияет на общую надежность и производительность конечной продукции.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость полупроводниковых компонентов. Соблюдение методов, описанных в документе, способствует снижению рисков, связанных с дефектами в материалах, что может привести к улучшению характеристик конечных изделий. В версии 2002 года стандарт может содержать обновления, касающиеся уточнений в методах измерений и рекомендаций по проведению испытаний, что делает его актуальным для современных условий производства.