ASTM F1761-2000 Standard Test Method for Pass Through Flux of Circular Magnetic Sputtering Targets

Документ ASTM F1761-2000 представляет собой стандартный метод испытаний для определения потока, проходящего через круглые магнитные мишени для распыления. Этот стандарт применяется в области материаловедения и технологий распыления, особенно в производстве полупроводников, оптики и других высокотехнологичных отраслей, где используются магнитные мишени для создания тонких пленок. Основное назначение документа заключается в установлении единых процедур и критериев для оценки характеристик магнитных мишеней, что позволяет обеспечить их качество и производительность.

Стандарт включает в себя ключевые регламентируемые аспекты, такие как методы испытаний, параметры, требования и процедуры, которые должны соблюдаться при проведении испытаний. В частности, документ описывает методику измерения потока, проходящего через мишень, а также условия, при которых должны проводиться испытания, включая параметры давления и температуры. Эти аспекты являются критически важными для обеспечения точности и воспроизводимости результатов.

Важные технические детали, указанные в стандарте, включают классификацию магнитных мишеней и измеряемые величины, такие как скорость потока и эффективность распыления. Стандарт также определяет условия испытаний, которые должны быть строго соблюдены для получения корректных данных. Это позволяет производителям и лабораториям проводить сравнение различных мишеней и оценивать их производительность в условиях, приближенных к реальным.

Целевая аудитория стандарта включает производителей магнитных мишеней, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, которые занимаются сертификацией и контролем качества. Стандарт служит важным инструментом для обеспечения согласованности в производственных процессах и позволяет специалистам принимать обоснованные решения на основе надежных данных. Это, в свою очередь, способствует повышению уровня безопасности и качества продукции.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и охрану труда в процессе производства. Соблюдение этого стандарта помогает минимизировать риски, связанные с использованием магнитных мишеней, и обеспечивает совместимость с другими компонентами производственных процессов. Изменения и дополнения к данному стандарту, если они имеются, направлены на уточнение методик испытаний и улучшение их точности, что позволяет адаптировать стандарт к современным требованиям и технологиям.