ASTM F2113-2001 (R 2011) Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

Документ ASTM F2113 представляет собой стандартный гид, который предназначен для анализа и отчётности о содержании примесей и качестве высокочистых металлических мишеней, используемых в электронных тонкоплёночных приложениях. Он разработан для обеспечения надёжности и однородности материалов, применяемых в производстве полупроводников, солнечных элементов и других высокотехнологичных устройств, где чистота материалов критически важна для функциональности конечного продукта.

Стандарт регламентирует методы анализа, параметры и требования к определению содержания примесей в металлических мишенях. В документе описаны процедуры, которые должны быть соблюдены при проведении испытаний, а также способы оценки качества мишеней, включая использование различных аналитических методов, таких как масс-спектрометрия и рентгеновская флуоресценция. Эти методики позволяют точно измерять содержание нежелательных элементов и обеспечивать соответствие установленным стандартам.

Ключевыми техническими деталями, упоминаемыми в стандарте, являются условия испытаний, такие как температура, давление и метод подготовки образцов. Также описываются классификации мишеней по степени чистоты и допустимому уровню примесей, что позволяет производителям и лабораториям проводить сравнительный анализ различных материалов. Измеряемые величины включают как количественные, так и качественные характеристики, что позволяет получить полное представление о качестве мишеней.

Целевая аудитория стандарта включает производителей высокочистых металлических мишеней, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и обеспечением качества в области электроники. Этот документ служит важным инструментом для специалистов, работающих в области разработки и производства тонкоплёночных технологий, обеспечивая единые подходы к оценке качества материалов.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда в процессе производства. Соответствие требованиям ASTM F2113 способствует снижению риска возникновения дефектов в конечных продуктах, что в свою очередь улучшает их эксплуатационные характеристики и долговечность. В обновлённых версиях стандарта могут быть внесены изменения, касающиеся методов анализа или новых типов примесей, что подчеркивает необходимость регулярного пересмотра и адаптации к современным требованиям промышленности.