ISO 13083-2015 Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

Документ «ISO 13083-2015» устанавливает стандарты для определения и калибровки пространственного разрешения электрических сканирующих микроскопов (ESPM), таких как сканирующие зондовые микроскопы (SSRMs) и сканирующая вольтамперометрия (SCM). Основное назначение документа заключается в оказании помощи производителям и исследовательским лабораториям в повышении точности анализа двумерной структуры легирования на полупроводниках и других подобных материалах.

Ключевыми регламентируемыми аспектами являются методы калибровки, параметры измерений и требования к качеству. Стандарт описывает необходимые процедуры, такие как настройка инструментов и контроль условий испытаний, а также важные параметры, включая разрешающую способность и стабильность сигналов. Отдельное внимание уделяется методам валидации результатов и документированию процесса калибровки.

Важные технические детали включают условия испытаний, которые должны учитывать влияние температуры, влажности, и других факторов на точность измерений. Классификация измеряемых величин, таких как статистические и систематические погрешности, также представлена в документе, что позволяет пользователям четко понимать шансы на отклонения и их влияние на результаты. Спецификации по выбору и тестированию зондов также включены для снижения ошибок во время анализа.

Целевая аудитория документа включает производителей ESPM, научные лаборатории и контролирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов в области производственных и исследовательских процессов. Данный стандарт может помочь ускорить процессы сертификации, улучшая обмен информацией между исследовательскими учреждениями и производителями, что ведет к более высокому качеству продукции.

Практическое значение стандарта связано с его влиянием на безопасность, качество и охрану труда. Корректная калибровка и анализ пространственного разрешения обеспечивают надежность результатов, что важно для обеспечения совместимости с другими системами и стандартами, а также для соблюдения нормативных требований в области экологии и безопасности на производстве. Изменения в стандарте касаются дополнительных рекомендаций по улучшению процессов тестирования и более строгих требований к документированию результатов калибровки.