Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ISO 21859-2019 FINE CERAMICS (ADVANCED CERAMICS, ADVANCED TECHNICAL CERAMICS) - TEST METHOD FOR PLASMA RESISTANCE OF CERAMIC COMPONENTS IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
Скачать документ нельзя. Можно заказать бесплатно один документ
Международные и зарубежные стандарты ( ASTM, ISO, ASME, API, DIN, BS и др.) не предоставляются в рамках данной услуги. Каждый стандарт приобретается платно с учетом лицензионной политики Разработчика.
Возможно вас заинтересуют





