ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Документ «ГОСТ Р 52250 2004» устанавливает общие технические условия для резистов, используемых в литографических процессах в области электронной техники. Он предназначен для применения на всех этапах разработки и производства полупроводниковых устройств, где требуется высокая точность и качество нанесения рисунков на подложки.

Стандарт регламентирует ключевые аспекты, такие как методы испытаний резистов, их физико-химические параметры, а также требования к их свойствам, включая чувствительность к облучению и стабильность в процессе хранения. В документе описываются процедуры контроля качества, которые должны соблюдаться на всех этапах производства и применения резистов.

Среди важных технических деталей, предусмотренных стандартом, можно выделить условия испытаний, такие как температура, влажность и продолжительность хранения образцов. Также указаны классификации резистов в зависимости от их назначения и характеристик, а также измеряемые величины, такие как толщина пленки и уровень контраста.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей резистов, лаборатории, занимающиеся их испытанием, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов качества в области электронной техники. Стандарт способствует унификации требований и повышению качества продукции, что особенно важно в условиях высокой конкуренции на рынке.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество производимых полупроводниковых устройств. Соблюдение требований ГОСТ Р 52250 2004 обеспечивает совместимость компонентов и минимизирует риски, связанные с дефектами в литографических процессах. Это, в свою очередь, способствует улучшению условий труда и охраны окружающей среды.

В документе могут быть указаны изменения или дополнения, касающиеся новых методов испытаний или обновленных требований к материалам. Эти изменения направлены на улучшение точности и надежности процессов, а также на соответствие международным стандартам в области электронной техники.