Главная

Документы

ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Картотека документов

Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации

ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

ГОСТ Р 8.627-2007

Группа Т84.10

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ИЗМЕРЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТОВ ЗЕРКАЛЬНОГО И ДИФФУЗНОГО ОТРАЖЕНИЯ
В ДИАПАЗОНЕ ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Методика выполнения измерений

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Measurement of coefficients of regular and diffuse trasmittance
of ultraviolet radiation. Methods for measurements

ОКС 17.020

Дата введения 2007-07-01

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным Государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии N 26-ст от 28 февраля 2007 г.

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового (далее - ВУФ) излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.195-89 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной плотности силы излучения и спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,2525,00 мкм; силы излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,225,0 мкм

ГОСТ 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться замененным (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяют в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Требования к погрешности измерений

Предел допускаемой погрешности результатов измерений коэффициента зеркального отражения не превышает 10% в диапазоне длин волн 0,120,20 мкм и 15% в диапазоне длин волн 0,030,12 мкм.

Предел допускаемой погрешности результатов измерений коэффициента диффузного отражения не превышает 15% в диапазоне длин волн 0,120,20 мкм.

4 Средства измерений и вспомогательные устройства

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

Номер документа

8.627-2007

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.020 Метрология и измерения в целом

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 627 2007» устанавливает методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Он является частью Государственной системы обеспечения единства измерений и предназначен для применения в научных и промышленных лабораториях, а также в учреждениях, занимающихся метрологией. Стандарт обеспечивает единообразие и точность измерений, что критически важно для различных областей науки и техники.

Основными аспектами, регламентируемыми данным стандартом, являются методы измерения коэффициентов отражения, а также параметры, которые необходимо учитывать при проведении испытаний. В документе подробно описаны необходимые условия для выполнения измерений, включая спецификации используемого оборудования и настройки, которые обеспечивают достоверность получаемых результатов. Также рассматриваются требования к подготовке образцов и условиям их размещения во время испытаний.

Документ охватывает важные технические детали, такие как диапазон длин волн ультрафиолетового излучения, в котором проводятся измерения, а также методы обработки и анализа данных. Важным аспектом является необходимость соблюдения определённых условий окружающей среды, таких как температура и влажность, которые могут влиять на точность измерений. Также в стандарте указаны классификации коэффициентов отражения, что позволяет более точно интерпретировать результаты.

Целевая аудитория стандарта включает производителей оптических материалов, научные и исследовательские лаборатории, а также контролирующие и аккредитующие органы. Стандарт служит основой для оценки качества оптических изделий и их соответствия установленным нормам. Это способствует повышению надежности и безопасности продукции, а также улучшению условий труда в производственных процессах.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на качество и безопасность оптических измерений, что в свою очередь обеспечивает совместимость различных систем и устройств. Стандарт способствует унификации подходов к измерениям в области оптики, что имеет важное значение для повышения эффективности научных исследований и технологических разработок. В документе не указаны значительные изменения или дополнения, что подтверждает его актуальность и стабильность в применении.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.