ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

ГОСТ Р 8.716-2010

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН от 10 до 30 нм

Методика измерений

State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range from 10 to 30 nm. Measurements procedure

ОКС 17.020

Дата введения 2012-01-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")

2 ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 декабря 2010 г. N 831-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Март 2019 г.

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового (ЭУФ) излучения (далее - ЭУФ-рефлектометры), предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений, и устанавливает методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений.

ЭУФ-рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне значений от 0,01 до 0,99.

В качестве источников непрерывного ЭУФ-излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ-излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм

ГОСТ 8.207* Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

____________

* Действует ГОСТ Р 8.736-2011.

ГОСТ 8.552 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Требования к погрешности измерений

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Номер документа

8.716-2010

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.020 Метрология и измерения в целом

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 716 2010» устанавливает методику измерений для рефлектометров экстремального ультрафиолетового излучения, предназначенных для анализа характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Основное назначение данного стандарта заключается в обеспечении единства измерений в данной области, что способствует повышению точности и надежности результатов, получаемых в научных и производственных лабораториях.

Стандарт регламентирует методы измерений, параметры, требования и процедуры, которые должны соблюдаться при проведении испытаний. В частности, описываются условия, при которых проводятся измерения, а также необходимые технические характеристики оборудования, используемого для анализа. Ключевыми аспектами являются точность измерений, стабильность источников ультрафиолетового излучения и методы калибровки приборов.

К важным техническим деталям относятся условия испытаний, такие как температура, влажность и уровень фона, которые могут влиять на результаты измерений. Также документ описывает классификации измеряемых величин, включая отражение и поглощение света, что позволяет более детально анализировать свойства наноструктур. Эти параметры критически важны для обеспечения корректности и воспроизводимости результатов.

Целевой аудиторией стандарта являются производители рефлектометров, научные и исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и аккредитацией измерительных средств. Стандарт служит основой для разработки новых методов и технологий в области наноматериалов, а также для повышения уровня квалификации специалистов, работающих в данной сфере.

Практическое значение данного стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество проводимых измерений, что, в свою очередь, способствует улучшению условий труда и охраны окружающей среды. Использование стандартизированных методов позволяет обеспечить совместимость различных систем и приборов, что является важным аспектом в условиях глобализации научных исследований. В последующих версиях документа могут быть внесены изменения, касающиеся уточнения методик и расширения диапазонов измерений, что позволит адаптировать стандарт к современным требованиям науки и техники.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.