Главная

Документы

ГОСТ Р 8.745-2011/ISO/TR 14999-2:2005 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 2. Измерения и методика оценки результатов

Картотека документов

Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации

ГОСТ Р 8.745-2011/ISO/TR 14999-2:2005 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 2. Измерения и методика оценки результатов

ГОСТ Р 8.745-2011/
ISO/TR 14999-2:2005

Группа Т80.10

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ОПТИКА И ФОТОНИКА. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМ

Часть 2

Измерения и методика оценки результатов

State system for ensuring the uniformity of measurements. Optics and photonics. Interferometric measurements of optical elements and systems. Part 2. Measurements and evaluation techniques

ОКС 17.180

Дата введения 2013-03-01

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004* "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

________________

* На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ Р 1.0-2012. - Примечание изготовителя базы данных.

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы" (ФГУП "ВНИИМС") на основе собственного аутентичного перевода на русский язык международного документа, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН ТК 53 "Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. N 1068-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному документу ИСО/ТО 14999-2:2005* "Оптика и фотоника. Интерферометрическое измерение оптических элементов и систем. Часть 2. Методы измерения и оценки" (ISO/TR 14999-2:2005 "Optics and photonics - Interferometric measurement of optical elements and optical systems - Part 2: Measurement and evaluation techniques")

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

Введение

Вторая часть ИСО 14999 посвящена методам оценки качества оптических элементов и систем, имеющим отношение к производимым ими (элементами и системами) искажениям (деформациям) волнового фронта. Эти искажения (погрешности) распределены по шкале пространственных частот, однако в этой части ИСО 14999 рассматриваются деформации (искажения, погрешности) волнового фронта только в низко- и среднечастотном диапазонах спектра пространственных частот. Высокочастотный участок спектра может быть измерен только с помощью микроскопа, с использованием результатов измерений рассеянного света или вообще неоптических способов зондирования поверхности.

Подобное рассмотрение может быть выполнено применительно к любому спектральному диапазону излучения, используемого для зондирования поверхности. В ИСО 14999 для наглядности рассмотрен случай использования видимого излучения. В ряде случаев при измерениях шероховатости поверхности применяются -лазеры с длиной волны 10,6 мкм (после шлифования изделия) или эксимерные лазеры с длинами волн 193 или 248 нм при контроле микролитографической оптики. Однако в стандарте они упоминаются изредка и не детализируются. Об остальных участках оптического спектра речь в ИСО 14999 не идет.

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на фундаментальные описания объектов, измеряемых с помощью интерферометрии, аппаратные аспекты построения различных схем интерферометров и методики анализа интерферограмм, рекомендации по содержанию и формам протоколов измерений и свидетельств о калибровке (калибровочных сертификатов).

2 Объекты измерений

2.1 Поверхности

2.1.1 Зеркала: граничные поверхности оптических элементов в режиме пропускания

Главная задача интерферометрии - измерение формы поверхности. Измерения могут быть выполнены двумя способами - в отраженном или проходящем свете. Суть интерференционного измерения сводится к определению разности двух длин оптических путей , один из которых обычно называется опорным, а другой - измеряемым (или предметным). Результирующая волновая аберрация , обусловленная сдвигом при измерении в отраженном свете, равна , а при измерении в проходящем свете - .

2.1.2 Коэффициент отражения

Френелевское отражение от границы, разделяющей две среды с показателями преломления и , описывается формулой

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

Номер документа

8.745-2011

Вид документа

Нормативно-технический документ

Принявший орган

Применяется с 01.03.2013

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.180 Оптика и оптические измерения

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 745-2011 ISO TR 14999-2:2005» представляет собой национальный стандарт, который регулирует методы интерференционных измерений оптических элементов и систем в рамках Государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ). Он предназначен для применения в области оптики и фотоники, обеспечивая единообразие и точность измерений в этой сфере. Стандарт охватывает как теоретические, так и практические аспекты, что делает его важным инструментом для специалистов, работающих с оптическими системами.

Ключевыми аспектами, регламентируемыми данным стандартом, являются методики измерений, параметры, которые необходимо учитывать, а также требования к оборудованию и условиям проведения испытаний. В документе описаны различные методы интерференционных измерений, включая определение точности и воспроизводимости результатов. Особое внимание уделяется оценке неопределенности измерений, что является критически важным для достижения высоких стандартов качества в оптической индустрии.

Важные технические детали, изложенные в стандарте, касаются условий испытаний, таких как температура, влажность и другие факторы, которые могут повлиять на результаты измерений. Также рассматриваются классификации измеряемых величин, включая длину волны, интенсивность света и другие параметры, которые имеют значение для точных интерференционных измерений. Эти детали помогают обеспечить высокую степень надежности и точности получаемых данных.

Целевая аудитория документа включает производителей оптических компонентов, лаборатории, занимающиеся метрологическими исследованиями, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов качества. Стандарт служит руководством для всех участников процесса, обеспечивая единые подходы к измерениям и оценке результатов, что способствует повышению уровня доверия к получаемым данным.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость оптических систем. Соблюдение требований ГОСТ Р 8 745-2011 позволяет минимизировать риски, связанные с ошибками в измерениях, и повышает общую надежность оптических изделий. Стандарт также способствует улучшению условий труда в лабораториях, так как четко определяет необходимые процедуры и методы, что позволяет избежать потенциальных ошибок и несчастных случаев.

В документе не указаны значительные изменения или дополнения, однако важно отметить, что он может быть пересмотрен в соответствии с развитием технологий и методик измерений. Это подчеркивает необходимость регулярного обновления знаний и практик в области оптики и фотоники для обеспечения соответствия современным требованиям.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.