ГОСТ Р 72109-2025 (ИСО 27894:2009) Вакуумная техника. Вакуумметры. Технические требования для ионизационных вакуумметров с горячим катодом

ГОСТ Р 72109-2025

(ИСО 27894:2009)

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Вакуумная техника

ВАКУУММЕТРЫ

Технические требования для ионизационных вакуумметров с горячим катодом

Vacuum technology. Vacuum gauges. Specifications for hot cathode ionization gauges

ОКС 23.160

Дата введения 2025-12-01

Предисловие

1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом "Вакууммаш" (АО "Вакууммаш") на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 249 "Вакуумная техника"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 2 июня 2025 г. № 515-ст

4 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ИСО 27894:2009* "Вакуумная техника. Вакуумметры. Технические требования для ионизационных вакуумметров с горячим катодом" (ISO 27894:2009 "Vacuum technology. Vacuum gauges. Specifications for hot cathode ionization gauges", MOD) путем изменения отдельных фраз (слов, ссылок), а также включения дополнительных положений, которые выделены в тексте курсивом**.

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

** В оригинале обозначения и номера стандартов и нормативных документов в разделе "Предисловие", приложении ДА и отмеченные знаком "**" в разделах 1 "Область применения", 2 "Нормативные ссылки" и п.6.4 приводятся обычным шрифтом, отмеченные в разделе "Предисловие" знаком "***" и остальные по тексту документа выделены курсивом. - Примечание изготовителя базы данных.

Сведения о соответствии ссылочных межгосударственных стандартов международным стандартам, использованным в качестве ссылочных в примененном международном стандарте, приведены в дополнительном приложении ДА

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации"***. Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)

Введение

Ионизационные вакуумметры обычно используются при измерении высокого и сверхвысокого вакуума. Ионный ток, протекающий в этом вакуумметре, пропорционален плотности газа соответственно давлению, при известной температуре в высоком и сверхвысоком вакууме. Ионизация частиц нейтрального газа осуществляется быстрыми электронами. Эти электроны создаются самоподдерживающимся разрядом либо эмиссионным катодом. В коммерческих ионизационных вакуумметрах этот эмиссионный катод обеспечивается нагретой проволокой (горячим катодом), эмитирующим электроны путем термоэлектронной эмиссии.

Ионизационные вакуумметры с самоподдерживающимся разрядом, создаваемым скрещенными электрическим и магнитным полями (магниторазрядные), имеют нелинейную зависимость ионного тока от плотности (давления) газа, трудоемки для калибровки. По этой причине ионизационные вакуумметры с горячими катодами, имеющие линейную зависимость ионного тока от плотности (давления) газа, используются в основном в качестве эталонов для передачи единицы давления в область измерений высокого и сверхвысокого вакуума.

Для передачи единицы давления и надежного измерения высокого и сверхвысокого вакуумного давления ионизационным вакуумметром должны быть указаны параметры и неопределенности, которые описаны в настоящем стандарте. Настоящий стандарт дополняет [1] при использовании ионизационных вакуумметров в качестве эталонов.

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на ионизационные вакуумметры с горячим катодом и устанавливает параметры, предоставляемые изготовителями, и неопределенности измерений, которые следует учитывать при эксплуатации этих вакуумметров.