BS ISO 13083-2015 Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes Поверхностный химический анализ - Сканирующая зондовая микроскопия - Стандарты по определению и калибровке пространственного разрешения электрических сканирующих зондовых микроскопов (ESPM), таких как SSRM и SCM для 2D-изображения доноров и других целей

Документ «BS ISO 13083-2015» посвящен стандартам определения и калибровки пространственного разрешения электрических сканирующих микроскопов (ESPM), таких как метод сканирующей проводимости (SSRM) и метод сканирующего зондирования (SCM). Основное назначение данного стандарта — обеспечить единообразие и точность в применении этих методов для двухмерного отображения легирующих элементов и других аналогичных задач. Стандарт нацелен на применение в научных, исследовательских и промышленных сферах.

Ключевыми аспектами, регулируемыми этим документом, являются методы калибровки пространственного разрешения, параметры измерений и требования к процедурам испытаний. Стандарт описывает условия, при которых проводятся измерения, включая минимальные требования к оборудованию и методологическим подходам, что позволяет получить надежные и воспроизводимые результаты при использовании электрических сканирующих микроскопов. Параметры, такие как чувствительность и точность измерений, подробно рассматриваются в документе.

Документ ориентирован на широкий круг специалистов, включая производителей оборудования, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы. Это позволяет всем участникам процесса производить и контролировать качество работы с электрическими сканирующими микроскопами в соответствии с международными стандартами, что способствует повышению общего уровня безопасности и надежности проводимых исследований.

Практическое значение стандарта проявляется в его влиянии на безопасность и качество проводимых анализов, а также на охрану труда в лабораториях, где применяются электрические сканирующие микроскопы. Стандарт способствует установлению необходимых условий для обеспечения совместимости различных устройств и методов, что крайне важно для достижения высоких результатов в исследовательской деятельности. Описание изменений или дополнений к стандарту, если таковые имеются, более точно указывает на необходимость актуализации методик в соответствии с последними достижениями научных исследований.