BS ISO 13084-2018 Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

Документ «BS ISO 13084-2018» посвящён калибровке масштабов масс для масс-спектрометров с временем полета по данным вторичным ионам. Основное назначение стандарта заключается в установлении методов и процедур, необходимых для обеспечения точности в анализе поверхности с использованием метода вторичной ионной масс-спектрометрии (SIMS). Он находит применение в таких областях, как материаловедение, химия и полупроводниковая промышленность, где требуется высокоточный анализ химического состава.

Стандарт регламентирует ключевые аспекты, включая автоматизацию процесса калибровки, процедуры тестирования и параметры, которые необходимо контролировать. Основные методы описывают подготовку образцов и условия их анализа, что обеспечивает высокую конкретность получаемых данных. Предусматривается необходимость периодической проверки и адаптации калибровок для различных приложений и инструментов.

Важно отметить технические детали, такие как условия испытаний, включая атмосферу и температуру, а также допустимые предельные значения для измеряемых величин. Процедуры обеспечения надежности результатов анализа и классификация различных типов ионов также играют значительную роль при проведении испытаний. Стандарт определяет методы сопоставления результатов, что обеспечивает их сопоставимость между разными лабораториями и производителями.

Целевой аудиторией данного документа являются производители, лаборатории и контролирующие органы, обеспечивающие точность и безопасность в области химического анализа. Стандарт служит важным инструментом для специалистов, работающих с оборудованием SIMS, а также для научных и аналитических лабораторий, обеспечивая соблюдение высоких стандартов качества.

Практическое значение данного стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продуктов в различных отраслях. Он содействует улучшению условий труда и минимизации рисков, связанных с химическим анализом, а также повышает совместимость между различными методами и оборудованием. Изменения в документе направлены на уточнение методов калибровки и расширение рекомендаций по применению, что способствует более точному и эффективному контролю качества в области масс-спектрометрии.