BS ISO 14237-2010 Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

Документ «BS ISO 14237-2010» определяет методику, основанную на вторичной ионной масс-спектрометрии, для количественного определения атомной концентрации бор в кремнии, используя однородно легированные материалы. Основное назначение стандарта заключается в обеспечении точности и сопоставимости результатов при анализе содержания бор в полупроводниковых материалах, что критично для многих производственных процессов в электронике.

Стандарт регламентирует ключевые методы, параметры и требования для проведения измерений, включая настройки масс-спектрометров и протоколы подготовки образцов. Условия испытаний описаны в деталях, что позволяет избежать возможных погрешностей и оптимизировать процесс анализа. При выборе методов необходимо учитывать влияние различных факторов, таких как тип легирования и характеристики образцов.

Технические детали, указанные в документе, касаются как условий экспериментального анализа, так и классификаций измеряемых величин. Значение исследуемых величин, таких как концентрация атомов бор в кремнии, определяется с учётом специфики возрастающих требований к качеству полупроводниковых компонентов в высоких технологиях. Также акцентируется внимание на необходимом контроле за чистотой среды и образцов, чтобы исключить внешние загрязнения.

Целевая аудитория стандарта охватывает производителей полупроводниковых компонентов, лаборатории, занимающиеся научными исследованиями, а также регулирующие органы, ответственные за контроль за качеством и безопасностью продукции. Применение данного стандарта способствует унификации и метрологической доверенности результатов измерений на международном уровне.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на соблюдение норм охраны труда и совместимости материалов. Стандарт создаёт условия для улучшения характеристик полупроводниковых изделий, что в свою очередь сказывается на эффективности и надёжности различных электронных устройств. Дополнения или изменения, произошедшие в процессе обновления документа, касаются усовершенствования методов анализа и уточнения требований к оборудованию, используемому в процессе измерений.