ISO 18114-2021 Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials Поверхностный химический анализ — Вторичная ионная масс-спектрометрия — Определение относительных чувствительных факторов из ионно-встроенных эталонных материалов

Документ ISO 18114-2021 определяет методику для определения относительных коэффициентов чувствительности в масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) с использованием ионно-имплантированных эталонных материалов. Стандарт применяется в области поверхностного химического анализа и предназначен для лабораторий, занимающихся анализом материалов, а также для производителей, использующих SIMS для контроля качества и разработки новых материалов.

Ключевыми аспектами документа являются методы и процедуры, которые обеспечивают точность и воспроизводимость измерений. Стандарт описывает требования к выбору эталонных материалов, условиям их подготовки и испытаний, а также параметры, влияющие на результаты анализа, такие как энергия ионов, давление в камере и температура. Эти параметры критически важны для получения корректных данных о относительных коэффициентах чувствительности.

Технические детали, указанные в стандарте, включают рекомендации по настройке оборудования и выполнению измерений, а также процедуры калибровки. Важным моментом является использование определённых типов ионно-имплантированных материалов, которые должны соответствовать установленным критериям для обеспечения достоверности получаемых результатов. Также документ содержит информацию о возможных источниках ошибок и способах их минимизации.

Целевая аудитория стандарта включает научные и исследовательские лаборатории, производственные предприятия, а также контролирующие органы, занимающиеся оценкой качества и безопасности материалов. Стандарт служит основой для разработки методик анализа и контроля, что способствует повышению качества продукции и безопасности на производстве.

Практическое значение ISO 18114-2021 заключается в улучшении точности и согласованности измерений, что, в свою очередь, влияет на качество конечной продукции и безопасность процессов. Стандарт помогает обеспечить совместимость методов анализа в различных лабораториях, что является важным аспектом для международного сотрудничества и стандартизации. В документе не указаны значительные изменения по сравнению с предыдущими версиями, что подтверждает его актуальность и стабильность предложенных методов.