ASTM F1367-1998 Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications

Документ «ASTM F1367-1998 Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications» представляет собой стандартную спецификацию, посвящённую хромовым мишеням для напыления в области тонкоплёночных технологий. Основное назначение данного документа заключается в установлении требований и методов испытаний, которые необходимо учитывать при производстве и применении хромовых мишеней в различных отраслях, включая микроэлектронику, оптику и другие высокотехнологичные сферы. Стандарт обеспечивает единые критерии для оценки качества и производительности мишеней, что в свою очередь влияет на конечные свойства тонких плёнок.

Ключевыми аспектами, регламентируемыми стандартом, являются методы испытаний, параметры, которые должны быть соблюдены при производстве мишеней, и требования к их физическим и химическим характеристикам. В документе описываются процедуры, связанные с контролем чистоты материала, а также требования к структуре и плотности хрома. Эти параметры критичны для достижения стабильных и предсказуемых результатов при нанесении тонких плёнок.

Технические детали, описанные в стандарте, включают условия испытаний, такие как температура, давление и скорость напыления. Также документ указывает на важные измеряемые величины, такие как толщина плёнки, однородность и адгезия. Классификация хромовых мишеней по различным критериям позволяет производителям и пользователям лучше ориентироваться в доступных материалах и выбирать наиболее подходящие решения для конкретных применений.

Целевая аудитория стандарта включает производителей хромовых мишеней, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и проверкой качества продукции. Стандарт служит важным инструментом для обеспечения согласованности и высокого уровня качества в производстве, что, в свою очередь, способствует повышению конкурентоспособности на рынке.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость продукции. Соблюдение указанных в документе требований позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественных материалов, что может привести к ухудшению характеристик конечных продуктов. В последующих версиях стандарта были внесены изменения, касающиеся уточнения требований к чистоте хрома и методов испытаний, что отражает развитие технологий и потребностей отрасли.