ASTM F1389-2000 Standard Test Methods for Photoluminescence Analysis of Single Crystal Silicon for III-V Impurities

Документ ASTM F1389-2000 представляет собой стандартные методы испытаний для фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния, направленные на определение примесей III-V группы. Основное назначение данного стандарта заключается в обеспечении единообразных и надежных процедур для оценки качества кремниевых материалов, используемых в полупроводниковой промышленности. Этот стандарт применяется в лабораториях, занимающихся исследованием полупроводников, а также в производственных процессах, где требуется контроль чистоты материалов.

Стандарт описывает методы фотолюминесцентного анализа, включая параметры, такие как длина волны возбуждения, температура образца и условия измерений. В документе также регламентируются требования к оборудованию и калибровке, что обеспечивает точность и воспроизводимость результатов. Ключевыми аспектами являются процедуры подготовки образцов, а также способы интерпретации полученных данных для выявления наличия и концентрации примесей.

Технические детали, указанные в стандарте, включают описание условий испытаний, таких как необходимость поддержания определенной температуры и давления, а также использование специализированных приборов для измерения фотолюминесценции. Кроме того, документ охватывает классификацию примесей и методики их количественного анализа, что позволяет исследователям эффективно идентифицировать и оценивать уровень загрязнений в монокристаллическом кремнии.

Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и качественным контролем. Стандарт служит важным инструментом для специалистов, работающих в области полупроводников, обеспечивая им необходимые методические рекомендации для выполнения высококачественных анализов.

Практическое значение ASTM F1389-2000 заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда в процессе производства. Применение данного стандарта способствует улучшению совместимости материалов, что, в свою очередь, положительно сказывается на надежности и долговечности конечных изделий. В последующих редакциях документа были внесены изменения, направленные на уточнение методик и улучшение точности измерений, что отражает текущие тенденции и достижения в области фотолюминесцентного анализа.