ASTM F1392-2002 Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe

Документ ASTM F1392-2002 представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для определения профилей плотности носителей заряда в кремниевых пластинах с использованием измерений ёмкости-напруга с ртутным зондом. Этот стандарт применяется в области полупроводниковой технологии, где важно точно оценивать электрические характеристики кремниевых материалов, используемых в производстве электронных компонентов.

Основные аспекты, регламентируемые документом, включают описание методов измерения, параметры испытаний и требования к оборудованию. Стандарт определяет процедуры, которые необходимо соблюдать для получения достоверных результатов, включая условия подготовки образцов, настройку измерительных приборов и интерпретацию данных. Кроме того, в документе изложены рекомендации по калибровке инструментов и обработке полученных результатов.

Технические детали, указанные в стандарте, охватывают условия испытаний, такие как температура и влажность, которые могут влиять на точность измерений. Измеряемые величины включают, но не ограничиваются, плотностью носителей заряда, что позволяет исследовать электрические свойства кремниевых пластин. Стандарт также описывает классификацию образцов в зависимости от их электрических характеристик, что помогает в выборе подходящих методов анализа.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, научные лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и обеспечением качества продукции. Понимание и применение этого стандарта позволяет специалистам в области полупроводников эффективно оценивать качество и соответствие продукции современным требованиям.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых изделий. Правильное определение профилей плотности носителей заряда способствует улучшению характеристик конечных продуктов, что, в свою очередь, повышает их надежность и эффективность. Стандарт также способствует соблюдению требований охраны труда и совместимости материалов, что является важным аспектом в производственном процессе.

С момента его публикации стандарт ASTM F1392-2002 мог быть дополнен или изменён, чтобы учесть новые технологии и методы тестирования. Эти изменения направлены на улучшение точности и надёжности результатов, что делает стандарт актуальным инструментом для специалистов в данной области.