ASTM F1393-2002 Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements with a Mercury Probe

Документ «ASTM F1393-2002» представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для определения чистой плотности носителей в кремниевых пластинах с использованием измерений профилировщика Миллера и ртутного зонда. Этот стандарт применяется в области полупроводниковой технологии и материаловедения, где требуется точная оценка электрических свойств кремниевых подложек, используемых в производстве электронных компонентов.

Основные аспекты, регламентируемые данным документом, включают методику проведения измерений, параметры, которые необходимо контролировать, а также требования к оборудованию и процедурам. В частности, стандарт описывает использование ртутного зонда для получения профиля плотности носителей, что позволяет получить высокоточную информацию о распределении носителей заряда в кремниевых пластинах. Эти данные имеют критическое значение для оптимизации процессов производства полупроводниковых устройств.

Технические детали испытаний включают условия, при которых проводятся измерения, такие как температура, влажность и давление, а также параметры, которые необходимо учитывать при интерпретации результатов. Стандарт также определяет классификации для различных типов кремниевых пластин, что позволяет производителям и лабораториям проводить сравнение и оценку качества материалов на основании единой методологии.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и стандартизацией продукции. Понимание и применение этого стандарта позволяет специалистам в области полупроводников обеспечивать высокое качество и надежность конечной продукции, а также соответствие международным требованиям.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых изделий, а также на охрану труда и совместимость материалов. Применение методики, описанной в ASTM F1393-2002, способствует улучшению характеристик кремниевых пластин, что, в свою очередь, отражается на производительности и долговечности конечных устройств. В последующих версиях стандарта могут быть внесены изменения, касающиеся уточнения методологии или обновления требований к оборудованию, что подчеркивает его актуальность в быстро развивающейся области полупроводниковых технологий.