ASTM F2113-2001 (R 2011) Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications Стандартное руководство по анализу и отчетности содержания примесей и класса высокопрочной металлической мишени для электронных тонких пленок

Документ ASTM F2113 представляет собой стандартный гид, который предназначен для анализа и отчётности о содержании примесей и качестве высокочистых металлических мишеней, используемых в электронных тонкоплёночных приложениях. Он разработан для обеспечения надёжности и однородности материалов, применяемых в производстве полупроводников, солнечных элементов и других высокотехнологичных устройств, где чистота материалов критически важна для функциональности конечного продукта.

Стандарт регламентирует методы анализа, параметры и требования к определению содержания примесей в металлических мишенях. В документе описаны процедуры, которые должны быть соблюдены при проведении испытаний, а также способы оценки качества мишеней, включая использование различных аналитических методов, таких как масс-спектрометрия и рентгеновская флуоресценция. Эти методики позволяют точно измерять содержание нежелательных элементов и обеспечивать соответствие установленным стандартам.

Ключевыми техническими деталями, упоминаемыми в стандарте, являются условия испытаний, такие как температура, давление и метод подготовки образцов. Также описываются классификации мишеней по степени чистоты и допустимому уровню примесей, что позволяет производителям и лабораториям проводить сравнительный анализ различных материалов. Измеряемые величины включают как количественные, так и качественные характеристики, что позволяет получить полное представление о качестве мишеней.

Целевая аудитория стандарта включает производителей высокочистых металлических мишеней, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и обеспечением качества в области электроники. Этот документ служит важным инструментом для специалистов, работающих в области разработки и производства тонкоплёночных технологий, обеспечивая единые подходы к оценке качества материалов.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда в процессе производства. Соответствие требованиям ASTM F2113 способствует снижению риска возникновения дефектов в конечных продуктах, что в свою очередь улучшает их эксплуатационные характеристики и долговечность. В обновлённых версиях стандарта могут быть внесены изменения, касающиеся методов анализа или новых типов примесей, что подчеркивает необходимость регулярного пересмотра и адаптации к современным требованиям промышленности.