ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора (с Изменением N 1)

Документ «ГОСТ 26239-3-84» регламентирует методы определения фосфора в кремнии полупроводниковом и кварце, что является важным аспектом для обеспечения качества исходных продуктов, используемых в электронной промышленности. Основное назначение стандарта заключается в установлении единых требований к методам анализа, что позволяет повысить достоверность результатов и обеспечить их сопоставимость между различными лабораториями и производственными предприятиями.

В документе описаны ключевые методы, используемые для определения содержания фосфора, включая спектрофотометрические и другие аналитические техники. Установлены параметры испытаний, такие как температура, время реакции и состав реактивов, что обеспечивает стабильность и воспроизводимость результатов. Стандарт также включает требования к калибровке оборудования и контролю качества, что является необходимым условием для получения точных данных.

Технические детали, описанные в стандарте, касаются условий испытаний, таких как выбор образцов, их подготовка и обработка, а также классификация измеряемых величин. Важным аспектом является указание пределов детекции и точности измерений, что критично для применения в высокоточных технологиях. Стандарт также определяет минимальные требования к квалификации персонала, проводящего анализ, что способствует повышению качества выполнения работ.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, лаборатории, занимающиеся их анализом, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение норм и стандартов в области качества. Стандарт служит основой для разработки внутренних регламентов и процедур на предприятиях, что способствует унификации процессов контроля качества и повышения их эффективности.

Практическое значение «ГОСТ 26239-3-84» заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда. Соблюдение данного стандарта позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественных материалов в производстве, что, в свою очередь, способствует повышению надежности и долговечности конечной продукции. Изменение N 1, внесенное в стандарт, уточняет методы анализа и добавляет новые подходы к оценке содержания фосфора, что отражает современные требования к качеству и безопасности полупроводниковых материалов.