ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

ГОСТ 26239.1-84

Группа В59

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ

Метод определения примесей

Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination

ОКСТУ 1709

Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_______________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.

РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР

ИСПОЛНИТЕЛИ

Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова

ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А.П.Снурников

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490

ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847

Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год

Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей, приведенных в табл.1, в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлорсилане.

Таблица 1

Интервалы определяемых значений массовой доли примесей


Определяемая примесь	Дифракционный спектрограф ДФC-8	Спектрограф средней дисперсии, ИСП-28
В полупроводниковом кремнии
Алюминий	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Висмут	От 6·10 до 6·10%	От 6·10 до 6·10%
Железо	От 2·10 до 2·10%	От 2·10 до 2·10%
Золото	От 2·10 до 2·10%	От 2·10 до 2·10%
Кадмий

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

Номер документа

26239.1-84

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

29 Электротехника 29.045 Полупроводниковые материалы

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ 26239 1 84» устанавливает требования к полупроводниковому кремнию и кварцу, а также методы определения примесей в этих материалах. Основное назначение стандарта заключается в обеспечении качества исходных продуктов для производства полупроводников, что имеет важное значение для электроники и других высоких технологий. Стандарт применяется на предприятиях, занимающихся производством и обработкой полупроводниковых материалов, а также в лабораториях, занимающихся их анализом.

Ключевыми регламентируемыми аспектами являются методы анализа, параметры, определяющие чистоту кремния и кварца, а также требования к условиям испытаний. Стандарт описывает процедуры, которые необходимо соблюдать для получения достоверных результатов, включая спецификации по подготовке образцов, условиям хранения и проведения испытаний. Важным элементом является определение предельных значений содержания примесей, что позволяет классифицировать материалы по их чистоте и пригодности для применения в различных областях.

Технические детали, представленные в стандарте, включают методы спектроскопии и хроматографии, используемые для количественного определения примесей. Условия испытаний должны соответствовать определённым температурным и влажностным режимам, что обеспечивает стабильность и воспроизводимость результатов. Кроме того, документ уточняет измеряемые величины и их допустимые отклонения, что важно для обеспечения точности анализа.

Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, исследовательские и контрольные лаборатории, а также регулирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов качества. Стандарт служит основой для разработки технологических процессов и контроля качества продукции, что способствует повышению уровня безопасности и надежности полупроводниковых устройств.

Практическое значение данного ГОСТа заключается в его влиянии на качество производимых полупроводников и, как следствие, на функциональность конечных продуктов. Соблюдение установленных требований способствует улучшению совместимости материалов и снижению рисков, связанных с эксплуатацией электроники. Изменение N 1, внесённое в стандарт, уточняет методы определения примесей, что позволяет улучшить точность и воспроизводимость результатов испытаний.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.