Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.2-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Методы определения бора
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Methods of boron determination
ОКСТУ 1709
Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_______________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР
Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова
ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
Член Коллегии А.П.Снурников
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490
ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847
Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 2, 1990 год
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения бора в полупроводниковом кремнии в интервале массовых долей от 2·10 до 2·10
%, в двуокиси кремния и кварце от 1·10
до 1·10
%, в четырехлористом кремнии и трихлорсилане от 6·10
до 7·10
% и атомно-эмиссионный метод определения бора от 0,001 до 0,1% в техническом кремнии.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методам анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
2. ХИМИКО-АТОМНО-ЭМИССИОННЫЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ БОРА*
______________
* Наименование раздела. Измененная редакция, Изм. N 1.
Метод основан на предварительном концентрировании бора путем удаления основного элемента - кремния в виде тетрафторида при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца и в виде тетрахлорида-тетрафторида при анализе четыреххлористого кремния и трихлорсилана в присутствии маннита, образующего с бором труднолетучее комплексное соединение, и спектральном анализе концентрата бора на графитовом порошке с добавлением фторопласта.
2.1. Аппаратура, материалы и реактивы
Спектрограф дифракционный типа ДФС-8 с решеткой 600 штр/мм с двухлинзовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с трехлинзовой системой освещения.
Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджига дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.
Выпрямитель 250-300 В, 30-50 А.
Микрофотометр нерегистрирующий типа МФ-2.
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ 26239 2 84» регламентирует методы определения содержания бора в кремнии полупроводниковом и кварце, а также описывает исходные продукты, используемые для его получения. Стандарт применяется в области производства полупроводниковых материалов и компонентов, что делает его важным для производителей, лабораторий и контролирующих органов, занимающихся контролем качества и безопасности данных материалов.
Основные аспекты документа включают методические указания по проведению анализов, параметры испытаний и требования к оборудованию. В частности, стандарт описывает количественные методы определения бора, включая спектрометрию и другие аналитические подходы. Установленные процедуры направлены на обеспечение точности и воспроизводимости результатов, что критично для дальнейшего использования кремния в высокотехнологичных отраслях.
Технические детали, указанные в стандарте, касаются условий испытаний, таких как температура, давление и другие факторы, влияющие на результаты. Также документ описывает классификации материалов и измеряемые величины, что позволяет проводить сравнительный анализ и оценивать соответствие продукции установленным нормам. Это особенно важно для лабораторий, проводящих сертификацию и контроль качества полупроводниковых материалов.
Целевая аудитория стандарта включает не только производителей и лаборатории, но и научные учреждения, занимающиеся исследованиями в области полупроводников. Контролирующие органы также могут использовать данный стандарт для оценки соответствия продукции установленным требованиям. Таким образом, документ способствует повышению уровня доверия к продуктам на рынке.
Практическое значение «ГОСТ 26239 2 84» заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых материалов. Стандарт помогает минимизировать риски, связанные с использованием некачественного кремния, что в свою очередь повышает надежность конечной продукции. Внедрение требований стандарта способствует улучшению охраны труда и совместимости материалов в различных приложениях.
Изменения, внесенные в документ, касаются уточнений в методах определения бора и обновления требований к оборудованию. Эти дополнения направлены на улучшение точности анализа и соответствие современным технологиям. В результате, стандарт остается актуальным и полезным для всех участников рынка полупроводниковых материалов.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)
ГОСТ 21797-76 Шайбы пружинные двухвитковые для железнодорожного пути. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора (с Изменением N 1)
ГОСТ 22780-93 (ИСО 1005-9-86) Оси для вагонов железных дорог колеи 1520 (1524) мм. Типы, параметры и размеры
ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан. Методы определения примесей (с Изменением N 1)