Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
ГОСТ 26239.0-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Общие требования к методам анализа
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis
ОКСТУ 1709
Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_________________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР
Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова
ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
Член Коллегии А.П.Снурников
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490
1. Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения (технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.
2. Общие требования к методам анализа по ГОСТ 26239.0-84 (СТ СЭВ 314-76).
3. Отбор и подготовку проб к анализу проводят по нормативно-технической документации.
4. Анализируемые пробы и материалы, используемые для приготовления образцов сравнения и стандартных растворов, взвешивают с погрешностью не более 0,0002 г.
5. Для взятия навесок используют аналитические лабораторные весы типа ВЛА-200-М или ВЛР-20Г, технические весы ВПТ-1, торсионные весы ВТ-500 по ГОСТ 13718-68 или аналогичных типов.
6. Для нагревания растворов применяют электрическую плитку с закрытой спиралью по ГОСТ 14919-83.
7. Для приготовления растворов и проведения анализов применяют дистиллированную воду по ГОСТ 6709-72 и реактивы квалификации не ниже ч.д.а., если не указана другая.
8. Для проведения анализа применяют мерную лабораторную посуду не ниже второго класса точности по ГОСТ 20292-74* (бюретки, пипетки) и ГОСТ 1770-74 (цилиндры, мензурки, колбы), а также стеклянную посуду (стаканы, конические колбы и др.) по ГОСТ 25336-82, тигли фарфоровые по ГОСТ 9147-80, тигли кварцевые по ГОСТ 19908-80**, воронки стеклянные делительные и конические по ГОСТ 25336-82, бюксы стеклянные по ГОСТ 25336-82, эксикаторы по ГОСТ 25336-82, посуду из стеклоуглерода марки СУ-2000.
________________
* На территории Российской Федерации действуют ГОСТ 29169-91, ГОСТ 29227-91-ГОСТ 29229-91, ГОСТ 29251-91-ГОСТ 29253-91;
** На территории Российской Федерации действует ГОСТ 19908-90. - Примечание изготовителя базы данных.
9. Допускается применение другой аппаратуры, материалов, посуды и реактивов, при условии получения метрологических характеристик, не хуже указанных в соответствующих стандартах на методы анализа.
10. В стандартах на методы анализа указаны величины допускаемых расхождений при доверительной вероятности 0,95 или
0,90 для нескольких значений массовых долей. Допускаемые расхождения для промежуточных значений рассчитывают методом линейной интерполяции.
11. Проверку правильности результатов анализа полупроводникового кремния или исходных продуктов для его получения проводят не реже одного раза в месяц и не менее раз в месяц, где
- число проб, проанализированных за месяц, с использованием той же аппаратуры, реактивов и материалов.
12. Правильность результатов анализа контролируют способами, указанными в соответствующих государственных стандартах на методы анализа.
13. Требования безопасности при проведении анализов полупроводникового кремния и исходных продуктов его получения - по нормативно-технической документации. Порядок и виды обучения работников безопасности труда проводят в соответствии с ГОСТ 12.0.004-79*.
________________
* На территории Российской Федерации действует ГОСТ 12.0.004-90. - Примечание изготовителя базы данных.
Электронный текст документа
подготовлен ЗАО "Кодекс" и сверен по:
официальное издание
Кремний полупроводниковый, исходные продукты
для его получения и кварц. Методы анализа:
Сб. ГОСТов. ГОСТ 26239.0-84-ГОСТ 26239.9-84. -
М.: Издательство стандартов, 1985
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ 26239-0-84» устанавливает общие требования к методам анализа кремния полупроводникового и исходных продуктов для его получения, а также кварца. Он предназначен для применения в области электроники, где высокие требования к качеству полупроводниковых материалов являются критически важными для обеспечения надежности и эффективности электронных устройств. Стандарт охватывает широкий спектр методов анализа, что позволяет производителям и лабораториям оценивать качество и соответствие продукции установленным нормам.
Ключевыми аспектами документа являются методы, параметры и требования к проведению анализа. В частности, ГОСТ описывает процедуры, необходимые для оценки чистоты и структуры кремния, а также физико-химические характеристики кварца. Важно, что стандарт включает в себя рекомендации по выбору методов, таких как спектроскопия, хроматография и рентгеновская дифракция, что позволяет получить точные и воспроизводимые результаты.
Документ также определяет условия испытаний, включая температурные и влажностные параметры, которые необходимо учитывать при проведении анализов. Классификации материалов по степени чистоты и механическим свойствам помогают в стандартизации процессов и обеспечивают единообразие в оценке качества. Измеряемые величины, такие как концентрация примесей и структурные параметры, играют ключевую роль в понимании характеристик полупроводниковых материалов.
Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковых изделий, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, которые обеспечивают соблюдение норм и правил в данной области. Стандарт служит основой для разработки новых продуктов и технологий, что способствует повышению конкурентоспособности отечественных производителей на мировом рынке.
Практическое значение «ГОСТ 26239-0-84» заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых материалов, что, в свою очередь, сказывается на надежности и долговечности электронных устройств. Стандарт также способствует охране труда, так как четко регламентирует условия испытаний и обращения с химическими веществами. В случае наличия изменений или дополнений, они касаются уточнения методов анализа и расширения диапазона регламентируемых параметров, что отражает современные требования к качеству и безопасности продукции.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ 19115-91 Шайбы пружинные путевые. Технические условия
ГОСТ 25947-83 (СТ СЭВ 3914-82) Сплавы твердые спеченные. Метод определения удельного электрического сопротивления (с Изменением N 1)
ГОСТ 13521-68 Стекла оконные пассажирских вагонов, электропоездов и дизель-поездов. Основные размеры и технические требования (с Изменениями N 1, 2, 3)
ГОСТ 21797-76 Шайбы пружинные двухвитковые для железнодорожного пути. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора (с Изменением N 1)