Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.3-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Методы определения фосфора
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination
ОКСТУ 1709
Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_______________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР
Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова
ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
Член Коллегии А.П.Снурников
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490
ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847
Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год
Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора от 2·10 до 2·10
% в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора от 1·10
до 5·10
% в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и от 4·10
до 1·10
% в двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора от 1·10
до 1·10
% в полупроводниковом кремнии.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методам анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
2. ЭКСТРАКЦИОННО-ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОСФОРА
Метод основан на растворении кремния смесью фтористоводородной и азотной кислот в присутствии марганцовокислого калия, удалении основной массы кремния отгонкой в виде фторида, избирательном концентрировании фосфора смесью -бутанола с хлороформом и последующем фотометрическом определении фосфора в виде восстановленной молибдофосфорной гетерополикислоты.
2.1. Аппаратура, реактивы и растворы
Фотоэлектроколориметр ФЭК-56 или аналогичный прибор.
Плитка электрическая.
Весы аналитические.
Цилиндры мерные вместимостью 5 и 10 см.
Колбы мерные вместимостью 25 и 100 см.
Воронки делительные вместимостью 50 см.
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ 26239-3-84» регламентирует методы определения фосфора в кремнии полупроводниковом и кварце, что является важным аспектом для обеспечения качества исходных продуктов, используемых в электронной промышленности. Основное назначение стандарта заключается в установлении единых требований к методам анализа, что позволяет повысить достоверность результатов и обеспечить их сопоставимость между различными лабораториями и производственными предприятиями.
В документе описаны ключевые методы, используемые для определения содержания фосфора, включая спектрофотометрические и другие аналитические техники. Установлены параметры испытаний, такие как температура, время реакции и состав реактивов, что обеспечивает стабильность и воспроизводимость результатов. Стандарт также включает требования к калибровке оборудования и контролю качества, что является необходимым условием для получения точных данных.
Технические детали, описанные в стандарте, касаются условий испытаний, таких как выбор образцов, их подготовка и обработка, а также классификация измеряемых величин. Важным аспектом является указание пределов детекции и точности измерений, что критично для применения в высокоточных технологиях. Стандарт также определяет минимальные требования к квалификации персонала, проводящего анализ, что способствует повышению качества выполнения работ.
Целевая аудитория данного стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, лаборатории, занимающиеся их анализом, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение норм и стандартов в области качества. Стандарт служит основой для разработки внутренних регламентов и процедур на предприятиях, что способствует унификации процессов контроля качества и повышения их эффективности.
Практическое значение «ГОСТ 26239-3-84» заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда. Соблюдение данного стандарта позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественных материалов в производстве, что, в свою очередь, способствует повышению надежности и долговечности конечной продукции. Изменение N 1, внесенное в стандарт, уточняет методы анализа и добавляет новые подходы к оценке содержания фосфора, что отражает современные требования к качеству и безопасности полупроводниковых материалов.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)
ГОСТ 21797-76 Шайбы пружинные двухвитковые для железнодорожного пути. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)
ГОСТ 22780-93 (ИСО 1005-9-86) Оси для вагонов железных дорог колеи 1520 (1524) мм. Типы, параметры и размеры
ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан. Методы определения примесей (с Изменением N 1)
ГОСТ 25463-82 Тепловозы магистральных железных дорог колеи 1520 мм. Общие технические требования