Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
ГОСТ Р 52250-2004
Группа Э10
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Материалы электронной техники
РЕЗИСТЫ ДЛЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Общие технические условия
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes.
General specifications
ОКС 71.080.99
ОКП 24 9642
Дата введения 2005-01-01
Предисловие
Задачи, основные принципы и правила проведения работ по государственной стандартизации в Российской Федерации установлены ГОСТ Р 1.0-92 “Государственная система стандартизации Российской Федерации. Основные положения” и ГОСТ Р 1.2-92 “Государственная система стандартизации Российской Федерации. Порядок разработки государственных стандартов”
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом “Российский научно-исследовательский институт “Электронстандарт” с участием Федерального государственного унитарного предприятия “22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны Российской Федерации”
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 “Изделия электронной техники, материалы и оборудование”
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 10 марта 2004 г. N 162-ст
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе “Национальные стандарты”, а текст этих изменений - в информационных указателях “Национальные стандарты”. В случае пересмотра или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована в информационном указателе “Национальные стандарты”
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (далее - резисты).
Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок (далее -ТУ), а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 2.114-95 Единая система конструкторской документации. Технические условия
ГОСТ 7376-89 Картон гофрированный. Общие технические условия
ГОСТ 10028-81 Вискозиметры капиллярные стеклянные. Технические условия
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ Р 52250 2004» устанавливает общие технические условия для резистов, используемых в литографических процессах в области электронной техники. Он предназначен для применения на всех этапах разработки и производства полупроводниковых устройств, где требуется высокая точность и качество нанесения рисунков на подложки.
Стандарт регламентирует ключевые аспекты, такие как методы испытаний резистов, их физико-химические параметры, а также требования к их свойствам, включая чувствительность к облучению и стабильность в процессе хранения. В документе описываются процедуры контроля качества, которые должны соблюдаться на всех этапах производства и применения резистов.
Среди важных технических деталей, предусмотренных стандартом, можно выделить условия испытаний, такие как температура, влажность и продолжительность хранения образцов. Также указаны классификации резистов в зависимости от их назначения и характеристик, а также измеряемые величины, такие как толщина пленки и уровень контраста.
Целевая аудитория данного стандарта включает производителей резистов, лаборатории, занимающиеся их испытанием, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов качества в области электронной техники. Стандарт способствует унификации требований и повышению качества продукции, что особенно важно в условиях высокой конкуренции на рынке.
Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество производимых полупроводниковых устройств. Соблюдение требований ГОСТ Р 52250 2004 обеспечивает совместимость компонентов и минимизирует риски, связанные с дефектами в литографических процессах. Это, в свою очередь, способствует улучшению условий труда и охраны окружающей среды.
В документе могут быть указаны изменения или дополнения, касающиеся новых методов испытаний или обновленных требований к материалам. Эти изменения направлены на улучшение точности и надежности процессов, а также на соответствие международным стандартам в области электронной техники.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ Р 52187-2003 Консервы. Продукция соковая. Нектары фруктовые и фруктово-овощные. Общие технические условия (с Изменением N 1)
Изменение N 1 ГОСТ 30319.0-96 Газ природный. Методы расчета физических свойств. Общие положения
Изменение N 1 ГОСТ 30319.1-96 Газ природный. Методы расчета физических свойств. Определение физических свойств природного газа, его компонентов и продуктов его переработки
РД 45.150-2000 Программа и методика технических испытаний оборудования транзитного центра коммутации федеральных сетей сотовой подвижной радиотелефонной связи при приемке и вводе в эксплуатацию законченного строительством объекта связи
РД 45.151-2000 Программа и методика технических испытаний системы сотовой радиотелефонной связи стандарта GSM при приемке и вводе в эксплуатацию законченного строительством объекта связи
Технические спецификации на виды работ при строительстве, реконструкции и ремонте автомобильных дорог и искусственных сооружений на них