ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.659-2009

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography. Verification procedure

ОКС 17.020
ОКСТУ 0008

Дата введения 2011-01-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

2 ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2009 г. N 972-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Апрель 2019 г.

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик УФ-излучателей:

- энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10 Вт/(м·ср), верхняя - не менее 10 Вт/(м·ср);

- силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10 Вт/ср, верхняя - не менее 10 Вт/ср.

Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N 53 Международной комиссии по освещению [1]*.

________________

* См. раздел Библиография. - Примечание изготовителя базы данных.

Межповерочный интервал - не более одного года.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной плотности потока излучения, спектральной плотности энергетической освещенности, спектральной плотности силы излучения, потока и силы излучения в диапазоне длин волн 0,001-1,600 мкм

ГОСТ 8.552 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,0004-0,400 мкм

ГОСТ Р 8.736 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Номер документа

8.659-2009

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.020 Метрология и измерения в целом

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 659 2009» устанавливает методику поверки средств измерений характеристик ультрафиолетового излучения, применяемых в процессе технологического контроля в нанофотолитографии. Он является частью Государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ) и предназначен для обеспечения точности и достоверности измерений в данной области. Стандарт охватывает широкий спектр применения, включая научные исследования, производство полупроводниковых устройств и фотонных технологий.

В документе регламентируются основные аспекты, такие как методы поверки, параметры, требования к средствам измерений и процедуры их выполнения. Определяются условия испытаний, включая температурный диапазон, влажность и другие факторы, влияющие на точность измерений. Также описываются классификации средств измерений и измеряемые величины, что позволяет обеспечить единообразие в оценке их характеристик.

Целевая аудитория стандарта включает производителей средств измерений, аккредитованные лаборатории и контролирующие органы, осуществляющие надзор за соблюдением требований к измерительным системам. Документ служит основой для разработки и внедрения новых технологий в области нанофотолитографии, а также для повышения качества и надежности производимой продукции. Он также актуален для специалистов, занимающихся метрологией и обеспечением единства измерений.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество продукции и охрану труда. Соответствие требованиям ГОСТ Р 8 659 2009 позволяет минимизировать риски, связанные с использованием ультрафиолетового излучения, и повышает уровень надежности производственных процессов. Стандарт способствует улучшению совместимости различных средств измерений, что является важным аспектом в условиях современного производства.

Документ может быть обновлен или дополнен в зависимости от развития технологий и изменений в области метрологии. При наличии таких изменений, они касаются уточнения методик поверки и расширения диапазона измеряемых характеристик. Это позволяет поддерживать актуальность стандартов и соответствие современным требованиям в области измерений ультрафиолетового излучения.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.