ГОСТ Р 71024-2023 Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

ГОСТ Р 71024-2023

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ПЛАСТИНЫ МАСКИРОВАННЫЕ ДЛЯ ФОТОШАБЛОНОВ

Термины и определения

Masked plates for photomasks. Terms and definitions

ОКС 31.180

Дата введения 2024-03-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" (АО "РНИИ "Электронстандарт")

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 "Электронная компонентная база, материалы и оборудование"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 19 октября 2023 г. N 1205-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)

Введение

Установленные в настоящем стандарте термины расположены в систематизированном порядке, отражающем систему понятий в области стеклянных заготовок, маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.

Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации, при этом не входящая в круглые скобки часть термина образует его краткую форму.

Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два (три, четыре и т.п.) термина, имеющие общие терминоэлементы.

В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера статьи.

Приведенные определения допускается, при необходимости, изменять введением в них производных признаков, раскрывая значения используемых в них терминов с указанием объектов, входящих в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.

Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы - светлым.

В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов.

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

ГОСТ Р 71024-2023 Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

Номер документа

71024-2023

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

31 Электроника 31.180 Печатные схемы и платы

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 71024 2023» устанавливает термины и определения, относящиеся к маскированным пластинам для фотошаблонов. Основное назначение стандарта заключается в унификации терминологии и обеспечении четкости в коммуникации между участниками процесса производства и применения данных материалов. Сфера применения охватывает области микроэлектроники, оптоэлектроники и других технологий, где используются фотошаблоны для создания микро- и наноэлементов.

Стандарт регламентирует ключевые аспекты, такие как методы испытаний, параметры качества и требования к производственным процессам. В частности, документ описывает методы оценки оптических свойств маскированных пластин, их механических характеристик и устойчивости к внешним воздействиям. Также определяются процедуры контроля качества, которые должны соблюдаться на всех этапах производства и применения пластин.

Важные технические детали включают условия испытаний, такие как температура и влажность, а также классификацию маскированных пластин по различным критериям. Измеряемые величины, такие как уровень прозрачности, механическая прочность и стойкость к химическим реагентам, играют значительную роль в оценке соответствия продукции установленным требованиям. Эти параметры являются критически важными для обеспечения надежности и долговечности фотошаблонов в процессе эксплуатации.

Целевая аудитория стандарта включает производителей маскированных пластин, исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и проверкой качества. Стандарт служит основой для разработки новых технологий и материалов, а также для повышения уровня доверия между производителями и потребителями. Его применение способствует улучшению качества продукции и повышению безопасности в области микроэлектроники.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и совместимость маскированных пластин в различных технологических процессах. Соблюдение требований ГОСТ Р 71024 2023 позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественных материалов, и обеспечивает высокую степень защиты труда работников. В документе также могут быть указаны изменения или дополнения, направленные на актуализацию требований в соответствии с современными технологиями и стандартами.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.