DIN EN 62047-25-2017 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 62047-25:2016) Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханические устройства - Часть 25: Технология изготовления МЭМС на основе кремния - Метод измерения сжато-растягивающей и сдвиговой прочности микроплощади соединения (IEC 62047-25:2016)

Документ «DIN EN 62047-25-2017» представляет собой стандарт, который описывает методы и процедуры оценки прочности микрообластей соединений, использующихся в полупроводниковых устройствах и микроэлектромеханических системах (MEMS). Он предназначен для применения в области проектирования и производства кремниевых MEMS, где надежность микросоединений критически важна для функционирования устройства.

Основные аспекты стандарта касаются методик измерения силы сжатия и сдвига в зоне микросоединений, а также параметров, таких как температура и скорость приложения нагрузки. Он устанавливает требования к оборудованию, используемому для испытаний, и методов анализа полученных данных. Стандарт охватывает и протоколы, которые должны соблюдаться для обеспечения единообразия и надежности результатов.

Среди важных технических деталей документа обозначены условия испытаний, включая уровень влажности и температуру окружающей среды. Также обсуждаются классификации различных типов соединений и измеряемые величины, что позволяет производителям адаптировать свои технологии для соответствия требованиям стандарта. Это обеспечивает повышение точности и воспроизводимости испытаний при оценке прочности соединений.

Целевая аудитория стандарта включает производителей MEMS, лаборатории, проводящие испытания, и контролирующие органы. Стандарт служит руководством для создания качественных и безопасных микросоединений, что значительно влияет на конечный продукт и его эксплуатационные характеристики. Он также может быть полезен для исследовательских учреждений, работающих в области микроэлектроники.

Практическое значение данного стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество конечных изделий, а также на совместимость компонентов. Это особенно актуально при разработке MEMS, где надежность соединений непосредственно связана с длительным сроком службы и эффективностью устройства. В последние обновления стандарта были включены дополнительные тестовые процедуры, что улучшает его актуальность и применение в современных условиях промышленности.