ASTM F1388-1992 (R 2000) Standard Test Method for Generation Lifetime and Generation Velocity of Silicon Material by Capacitance-Time Measurements of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Capacitors

Документ ASTM F1388 представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для оценки долговечности генерации и скорости генерации кремниевого материала с помощью измерений ёмкости-времени металлооксидных полупроводниковых конденсаторов (MOS). Этот стандарт применяется в области полупроводниковой электроники, где важно точно определить характеристики материалов, используемых в производстве компонентов, таких как транзисторы и диоды.

Ключевыми аспектами, регламентируемыми данным стандартом, являются методы измерения ёмкости MOS-конденсаторов и анализ временных характеристик, связанных с генерацией носителей заряда в кремниевых материалах. Стандарт описывает необходимые параметры испытаний, включая условия, при которых проводятся измерения, а также требования к оборудованию и методам анализа данных. Это позволяет обеспечить воспроизводимость результатов и их сопоставимость между различными лабораториями и производственными предприятиями.

Важные технические детали, указанные в стандарте, включают спецификации для проведения испытаний при различных температурах и напряжениях, а также рекомендации по подготовке образцов. Измеряемыми величинами являются время генерации носителей заряда и скорость их генерации, что позволяет оценить качество и надежность кремниевых материалов. Также в документе рассматриваются аспекты, касающиеся влияния примесей и дефектов в структуре материала на результаты испытаний.

Целевая аудитория стандарта включает производителей полупроводниковых материалов, научно-исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся сертификацией и обеспечением качества продукции. Стандарт служит важным инструментом для специалистов, работающих в области разработки и тестирования полупроводниковых устройств, обеспечивая единые критерии оценки и сравнения материалов.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых компонентов, что, в свою очередь, сказывается на надежности конечной продукции. Применение ASTM F1388 способствует улучшению процессов контроля качества и повышению совместимости различных материалов, используемых в электронике. В последней редакции документа были внесены изменения, касающиеся уточнения методов измерения и расширения диапазона исследуемых параметров, что позволяет более точно оценивать характеристики кремниевых материалов.