ASTM F1391-1993 (R 2000) Standard Test Method for Substitutional Atomic Carbon Content of Silicon by Infrared Absorption

Документ ASTM F1391 представляет собой стандартный метод испытаний, предназначенный для определения содержания замещающего атомного углерода в кремнии с использованием инфракрасной абсорбции. Этот стандарт находит применение в области материаловедения, особенно в производстве полупроводниковых устройств и кремниевых материалов, где точное определение состава является критически важным для обеспечения их функциональности и надежности.

Основные аспекты, регламентируемые стандартом, включают методику проведения испытаний, параметры измерений и требования к образцам. Метод основан на использовании инфракрасной спектроскопии, что позволяет точно определить концентрацию углерода в кремнии. Важными параметрами являются длина волны, на которой происходит измерение, а также условия подготовки образцов, которые должны соответствовать установленным стандартам для получения достоверных результатов.

Стандарт ASTM F1391 ориентирован на широкий круг специалистов, включая производителей полупроводников, исследовательские лаборатории и контролирующие органы, занимающиеся оценкой качества материалов. Это позволяет обеспечить единые подходы к измерениям и интерпретации данных, что является ключевым для поддержания высоких стандартов в производственной практике.

Практическое значение данного стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции. Точное определение содержания углерода в кремнии может существенно повлиять на характеристики конечного продукта, включая его электрические свойства и долговечность. Это, в свою очередь, способствует улучшению охраны труда и снижению рисков, связанных с использованием некачественных материалов в производстве.

В последующих редакциях документа были внесены изменения, касающиеся уточнения методологии и расширения диапазона применяемых параметров. Эти дополнения направлены на повышение точности измерений и адаптацию метода к современным требованиям индустрии. Таким образом, стандарт ASTM F1391 остается актуальным инструментом для обеспечения качества и надежности кремниевых материалов в различных отраслях.