ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.640-2008

Группа Т84.10

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Radiometers of ultraviolet radiation measurements
for photolithography technological processes testing. Verification methods

ОКС 17.020
ОКСТУ 0008

Дата введения 2009-01-01

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 марта 2008 г. N 60-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения - радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии (далее - радиометры УФ-излучения), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Технологические УФ-излучатели применяют для фотолитографии при создании высоких уровней УФ-освещенности в микро- и наноэлектронике. Средства измерений характеристик УФ-излучения в фотолитографии обеспечивают в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм измерения энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,1 Вт/м, верхняя - не менее 100 Вт/м.

Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N 53 Международной комиссии по освещению [1].

Межповерочный интервал - не более одного года.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Операции поверки

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1


Наименование операции	Номер пункта настоящего стандарта	Проведение операций при поверке
		первичной

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Номер документа

8.640-2008

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.020 Метрология и измерения в целом

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 640 2008» регламентирует методику поверки радиометров ультрафиолетового излучения, применяемых для контроля технологических процессов в фотолитографии. Основное назначение стандарта заключается в обеспечении единства измерений в области ультрафиолетового излучения, что является критически важным для достижения высококачественных результатов в производственных процессах, связанных с фотолитографией. Стандарт нацелен на производителей, лаборатории, а также контролирующие органы, занимающиеся метрологическим обеспечением.

Ключевыми аспектами документа являются методы поверки, параметры измерений и требования к оборудованию, используемому для контроля. Стандарт определяет процедуры, которые должны быть выполнены для обеспечения точности и достоверности измерений, а также описывает условия испытаний, включая температурные и влажностные режимы, при которых должны проводиться проверки. Важным элементом является также классификация измеряемых величин, что позволяет унифицировать подходы к оценке характеристик радиометров.

Технические детали, указанные в документе, включают спецификации на измерительные приборы, а также требования к их калибровке и техническому обслуживанию. Стандарт также описывает необходимые условия для проведения испытаний, включая требования к помещению, в котором осуществляется поверка, а также к квалификации персонала, проводящего испытания. Эти аспекты способствуют повышению надежности и точности измерений, что, в свою очередь, влияет на качество производимых изделий.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество производственных процессов. Соблюдение требований ГОСТ Р 8 640 2008 способствует снижению рисков, связанных с использованием ультрафиолетового излучения, а также обеспечивает соответствие продукции установленным нормам и стандартам. Это особенно важно в контексте охраны труда и защиты окружающей среды, поскольку правильное измерение и контроль ультрафиолетового излучения могут предотвратить негативные последствия для здоровья работников и экосистемы.

В документе не указаны значительные изменения или дополнения, однако рекомендуется следить за обновлениями в области метрологии и стандартов, чтобы обеспечить соответствие современным требованиям и технологиям. Таким образом, соблюдение данного стандарта является важным шагом к обеспечению качества и безопасности в области фотолитографии и связанных секторов.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.