ГОСТ Р 72317-2025 Выбросы стационарных источников. Определение выбросов парниковых газов в энергоемких отраслях промышленности. Часть 7. Производство полупроводниковых приборов и дисплеев

ГОСТ Р 72317-2025

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Выбросы стационарных источников

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ВЫБРОСОВ ПАРНИКОВЫХ ГАЗОВ В ЭНЕРГОЕМКИХ ОТРАСЛЯХ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Часть 7

Производство полупроводниковых приборов и дисплеев

Stationary source emissions. Determination of greenhouse gas emissions in energy intensive industries. Part 7. Semiconductor and display industries

ОКС 13.040.40

Дата введения 2026-01-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом "Научно-исследовательский институт охраны атмосферного воздуха" (АО "НИИ Атмосфера")

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 457 "Качество воздуха"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 7 октября 2025 г. № 1164-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)

Введение

Настоящий стандарт предназначен для измерения и количественного определения выбросов парниковых газов в производстве устройств микроэлектроники, полупроводниковых приборов и дисплеев, а также оценки выбросов парниковых газов во время производственных процессов на рабочих площадках. Настоящий стандарт следует использовать для оценки, предоставления отчетности и сравнения выбросов парниковых газов на предприятии по производству полупроводников.

Большую роль в электронной промышленности в настоящее время играют фторированные газообразные соединения (ФС-газы), которые в процессе производства выбрасываются в атмосферу. Их используют на двух важных этапах производства электроники (плазменное травление и очистка пластин кремнийсодержащих материалов, очистка стенок камер для процесса нанесения тонких пленок и диффузионных аппаратов после обработки полупроводниковых пластин). В производстве устройств микроэлектроники также используют фторированные жидкости в качестве теплоносителей для контроля температуры во время испытания корпусов для модулей, а также во время пайки электронных компонентов в паровой фазе.

Настоящий стандарт устанавливает отраслевые аспекты определения выбросов парниковых газов при производстве полупроводниковых приборов и дисплеев и основан на руководящих принципах [1] и [2] и учитывает требования приказа [3], а также федерального закона [4].

1 Область применения

Настоящий стандарт содержит требования к расчету выбросов парниковых газов на предприятиях по производству полупроводниковых приборов, микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также фотоэлектрических устройств. Настоящий стандарт рассматривает как прямые, так и косвенные источники выбросов парниковых газов (ПГ) (см. 5.1).

Настоящий стандарт следует применять совместно с ГОСТ Р ИСО 19694-1, правилами [2] и отраслевыми стандартами, распространяющимися на конкретные отрасли промышленности, что обеспечит получение точных результатов с приемлемой неопределенностью измерений.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты.