BS EN 62047-17-2015 Semiconductor devices — Micro-electromechanical devices Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films Полупроводниковые устройства — Микроэлектромеханические устройства Часть 17: Метод испытания на деформацию для измерения механических свойств тонких пленок

Документ «BS EN 62047-17:2015» описывает метод испытания для измерения механических свойств тонких пленок, применяемых в полупроводниковых микромеханических устройствах. Основное назначение стандарта заключается в установлении унифицированного подхода к оценке характеристик механической прочности материалов, использующихся в данной области. Стандарт применяется в сферах разработки, испытаний и производства полупроводниковых устройств.

Ключевыми аспектами, регламентируемыми документом, являются методы проведения испытаний, параметры, которые должны быть соблюдены, и требования к условиям испытаний. В частности, стандарт описывает устройство, используемое для визуализации и фиксации результатов испытаний, а также необходимые средства измерения, что обеспечивает повторяемость и надежность данных.

Важные технические детали включают описание условий испытаний, такие как температура и влажность, которые могут повлиять на характеристики материалов, а также классификации и измеряемые величины, такие как деформация и напряжение. Это позволяет оценить, как различные методы обработки и состав материалов могут влиять на их механические свойства.

Целевая аудитория стандарта охватывает производителей полупроводниковых устройств, научные лаборатории и контролирующие органы, заинтересованные в оценке качества и безопасности материалов. Стандарт помогает обеспечить соответствие поставляемых продуктов необходимым требованиям для их дальнейшего использования в реальных применениях.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых устройств, что, в свою очередь, может повысить надежность эксплуатационных характеристик готовой продукции. Стандарт также способствует улучшению условий охраны труда, так как более надежные материалы уменьшают риски отказа оборудования. В документе отмечены изменения, касающиеся обновлений методов измерений и уточнений параметров испытаний, что позволяет отражать современные научно-технические достижения.