Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.8-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ И ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ
Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
ОКСТУ 1709
Дата введения 1986-01-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2491* срок действия установлен с 01.01.86 до 01.01.91**
______________
* См. ярлык "Примечания";
** Ограничение срока действия снято по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1848
Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год
Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана от 0,02 до 10%, трихлорсилана от 0,02 до 100% и тетрахлорида кремния от 0,02 до 100%, в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом.
Метод основан на хроматографическом разделении компонентов в изотермическом режиме с последующим детектированием по теплопроводности и расчетом массовых долей определяемых компонентов по площадям хроматографических пиков с учетом коэффициентов относительной чувствительности детектора к определяемым компонентам.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
2. АППАРАТУРА, МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ
Хроматограф ЛХМ-8МД с детектором по теплопроводности, регистрирующим устройством, блоком осушки газа-носителя, шприцевой системой ввода образцов.
Хроматографические колонки стеклянные или металлические длиной 4 м, диаметром 2-4 мм.
Электронный интегратор И-02.
Ловушка стеклянная (черт.1) с гидроокисью калия, ч.д.а., таблетированной.
Форвакуумный насос ВН 461М.
Сушильный шкаф вакуумный на температуру до 200 °С
Стаканы стеклянные вместимостью 200 см.
Чашки фарфоровые диаметром 50 мм.
Воронка стеклянная с отростком диаметром 2-4 мм.
Весы аналитические.
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ 26239 8 84» устанавливает методику определения содержания дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в полупроводниковом кремнии и его исходных продуктах. Стандарт применяется в области производства полупроводников, а также в лабораторной практике для контроля качества сырья и готовой продукции. Он обеспечивает единообразие в проведении анализов и способствует повышению надежности результатов.
Основными регламентируемыми аспектами документа являются методы анализа, параметры испытаний и требования к оборудованию. В частности, стандарт описывает процедуру подготовки образцов, условия проведения испытаний, а также методы измерения концентрации указанных химических веществ. Это позволяет обеспечить высокую точность и воспроизводимость результатов, что критично для дальнейшего использования полупроводников в электронной промышленности.
Важные технические детали включают спецификации по температуре и давлению, при которых проводятся испытания, а также требования к чистоте реактивов и условиям хранения образцов. Классификация измеряемых величин и контроль за их соответствием установленным нормам являются ключевыми для обеспечения качества и безопасности конечной продукции. Стандарт также учитывает возможные помехи и источники ошибок в процессе анализа.
Целевая аудитория данного документа включает производителей полупроводников, научные и исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, осуществляющие надзор за качеством продукции. Стандарт служит основой для разработки внутренних регламентов и процедур в организациях, занимающихся производством и анализом полупроводниковых материалов.
Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество полупроводниковых изделий, а также на охрану труда в процессе их производства. Соблюдение данного ГОСТа способствует снижению рисков, связанных с использованием некачественных материалов, и повышает общую надежность и совместимость полупроводников в электронике. Изменение N 1, внесенное в стандарт, уточняет некоторые параметры испытаний и методы их проведения, что дополнительно повышает его актуальность и применимость в современных условиях.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1, 3, 3, 3-тетрахлордисилоксана, 1, 1, 3, 3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана (с Изменением N 1)
ГОСТ 28300-89 Валы карданные тягового привода тепловозов и дизель-поездов. Типы, основные параметры и размеры, технические требования (с Изменениями N 1, 2)
ГОСТ 26239.9-84 Трихлорсилан. Метод определения хлористого метила, хлористого этила, бутана, изобутана, хлористого метилена, хлороформа, четыреххлористого углерода, метилдихлорсилана, метилтрихлорсилана, хлорметилметилсилана (с Изменением N 1)
ГОСТ 26473.0-85 Сплавы и лигатуры на основе ванадия. Общие требования к методам анализа (с Изменением N 1)
ГОСТ 26473.1-85 Сплавы и лигатуры на основе ванадия. Метод определения бора (с Изменением N 1)