Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.7-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ
Метод определения кислорода, углерода и азота
Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination
ОКСТУ 1709
Дата введения 1986-01-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2491* срок действия установлен с 01.01.86 до 01.01.91**
__________________
* См. ярлык "Примечания";
** Ограничение срока действия снято по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847
Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами Не и протонами в интервалах значений массовых долей примесей:
кислород инструментальный анализ |
от 5·10 |
с радиохимическим выделением |
от 1·10 |
углерод инструментальный анализ |
от 2·10 |
с радиохимическим выделением |
от 1·10 |
азот с радиохимическим выделением |
от 1·10 |
Метод основан на облучении анализируемых проб и образцов сравнения ускоренными ионами Не (определение кислорода и углерода) или протонами (определение азота) с последующим измерением наведенной активности радиоактивных изотопов
F и
С на спектрометре
-совпадений.
Содержание примесей в анализируемой пробе определяют путем сопоставления интенсивностей счета импульсов радиоактивных изотопов определяемых элементов в пробах и образцах сравнения.
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
2. АППАРАТУРА, МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ
Ускоритель заряженных частиц - источников ионов Не с энергией 13 мэВ при токе ионов в пучке 1-5 мкА, источник протонов с энергией не менее 6,5 МэВ и током ионов в пучке 1-5 мкА.
Спектрометр -совпадений с кристаллами Nal (T1), имеющими размер не менее 100х70 мм.
Универсальный радиометр-дозиметр типа МКС-01Р.
Бюксы типа 1К-НЖ для радиохимических работ с дополнительной защитой из свинцовых кирпичей и просвинцованного стекла в соответствии с требованиями НРБ-76/87/
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ 26239 7 84 Кремний полупроводниковый Метод определения кислорода углерода и азота с Изменением N 1» устанавливает методические рекомендации для определения содержания кислорода, углерода и азота в кремнии полупроводниковом. Он предназначен для применения в области производства полупроводниковых материалов, а также в научных и исследовательских лабораториях, занимающихся анализом свойств кремния.
Основные регламентируемые аспекты стандарта включают методы анализа, параметры испытаний и требования к оборудованию. Стандарт описывает количественные и качественные методы, которые позволяют точно измерять содержание указанных элементов в кремнии. Важным аспектом является необходимость соблюдения условий испытаний, таких как температура и давление, что обеспечивает достоверность получаемых результатов.
Ключевыми измеряемыми величинами являются концентрация кислорода, углерода и азота, которые могут существенно влиять на электрические и физические свойства полупроводникового кремния. Стандарт также включает рекомендации по подготовке образцов и проведению анализа, что позволяет обеспечить единообразие и сопоставимость результатов между различными лабораториями и производственными предприятиями.
Целевая аудитория данного документа включает производителей полупроводниковых материалов, аналитические лаборатории и контролирующие органы, осуществляющие надзор за качеством продукции. Стандарт играет важную роль в обеспечении безопасности и качества полупроводниковых изделий, что, в свою очередь, влияет на надежность и долговечность конечной продукции.
Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на качество полупроводниковых материалов, что непосредственно сказывается на производительности электронных устройств. Соблюдение данного ГОСТа способствует улучшению условий труда и охраны окружающей среды, так как позволяет минимизировать риски, связанные с использованием некачественного сырья. Изменение N 1 вносит уточнения в методику проведения испытаний и обновляет требования к оборудованию, что отражает современные достижения в области аналитической химии и материаловедения.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1, 3, 3, 3-тетрахлордисилоксана, 1, 1, 3, 3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана (с Изменением N 1)
ГОСТ 28300-89 Валы карданные тягового привода тепловозов и дизель-поездов. Типы, основные параметры и размеры, технические требования (с Изменениями N 1, 2)
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния (с Изменением N 1)
ГОСТ 26239.9-84 Трихлорсилан. Метод определения хлористого метила, хлористого этила, бутана, изобутана, хлористого метилена, хлороформа, четыреххлористого углерода, метилдихлорсилана, метилтрихлорсилана, хлорметилметилсилана (с Изменением N 1)
ГОСТ 26473.0-85 Сплавы и лигатуры на основе ванадия. Общие требования к методам анализа (с Изменением N 1)