ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

ГОСТ Р 8.644-2008

Группа Т88.1

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration

ОКС 17.040.01

Дата введения 2009-06-01

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральным государственным учреждением "Российский научный центр "Курчатовский институт" и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Нанотехнологии и наноматериалы"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 августа 2008 г. N 186-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее - рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м.

Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

______________

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 1 апреля 2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Термины и определения

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа

ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Номер документа

8.644-2008

Вид документа

Нормативно-технический документ

Классификация ОКС

17 Метрология и измерения. Физические явления 17.040 Линейные и угловые измерения

Статус

Скрыто

Дата принятия

Скрыто

Дата начала действия

Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 644 2008» устанавливает методику калибровки рельефных нанометровых мер с трапецеидальным профилем элементов в рамках Государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ). Основное назначение стандарта заключается в обеспечении точности и сопоставимости измерений в области нанометрики, что имеет важное значение для научных исследований и высокотехнологичных производств. Сфера применения охватывает как исследовательские лаборатории, так и промышленные предприятия, занимающиеся разработкой и производством наноразмерных объектов.

Ключевыми аспектами, регламентируемыми документом, являются методы калибровки, параметры измерений и требования к условиям испытаний. Стандарт описывает процедуры, которые обеспечивают достоверность результатов измерений, включая использование специализированного оборудования и программного обеспечения. Важно отметить, что документ определяет необходимые условия для выполнения калибровки, такие как температура, влажность и другие факторы окружающей среды, которые могут влиять на точность измерений.

Среди важных технических деталей, указанных в стандарте, выделяются классификация измеряемых величин и описание методов их определения. Стандарт также включает информацию о допустимых погрешностях и способах их оценки, что является критически важным для обеспечения надежности получаемых данных. Эти аспекты способствуют созданию единой методической базы для проведения измерений в области нанометрики и гарантируют высокие стандарты качества.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей измерительного оборудования, научные исследовательские лаборатории, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение норм и стандартов в области измерений. Применение данного стандарта способствует повышению качества продукции, улучшению условий труда и обеспечению безопасности на производстве, что, в свою очередь, влияет на общую конкурентоспособность отрасли.

В документе могут быть указаны изменения или дополнения, касающиеся уточнения методов калибровки или обновления требований к оборудованию. Эти изменения направлены на улучшение практических аспектов применения стандарта и адаптацию к современным достижениям в области измерительных технологий. В целом, «ГОСТ Р 8 644 2008» представляет собой важный инструмент для обеспечения единства измерений в нанометрике и способствует развитию высокоточных технологий в различных отраслях.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.