Ученые ВНИИФТРИ создают новый эталон для обеспечения единства измерений в области микроэлектроники

ФГУП «ВНИИФТРИ» выступило организатором круглого стола «Обеспечение единства измерений параметров микроэлектронных структур на пластине», который прошел в ходе работы XV Всероссийской научно-технической конференции «Метрология в радиоэлектронике». Модераторами круглого стола выступили заместитель генерального директора по радиотехническим и электромагнитным измерениям ФГУП «ВНИИФТРИ» Иван Малай и технический директор ООО «МВЭЙВ» Вячеслав Михайлович Муравьёв.

Ключевыми спикерами стали ведущие учёные в области радиоизмерений, а также технические специалисты предприятий-производителей микроэлектроники, в частности, специалисты ФГУП «ВНИИФТРИ», Восточно-Сибирского филиала ФГУП «ВНИИФТРИ», Института физики твёрдого тела РАН, ООО «МВЭЙВ», ООО «ПЛАНАР» и других.

Основной темой обсуждения стал создаваемый во ВНИИФТРИ специальный эталон единиц комплексного коэффициента отражения и комплексного коэффициента передачи микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц, а также возможности его применения для обеспечения единства и точности измерений в данной области, в том числе с использованием разработанных ФГУП «ВНИИФТРИ» калибровочных подложек и СВЧ-зондов.

«ВНИИФТРИ сможет обеспечить отечественную микроэлектронику измерительными СВЧ-зондами и калибровочными подложками, параметры которых прослеживаются к эталонам электрофизических и геометрических величин. Создание системы метрологического обеспечения комплексного коэффициента отражения и комплексного коэффициента передачи микроэлектронных структур на пластине будет способствовать повышению эффективности разработки и производства СВЧ-микроэлектроники и позволит обеспечить технологическую независимость в данной области измерений», — отметил Иван Малай.

Также участники рассмотрели методы воспроизведения и передачи единиц комплексного коэффициента отражения и передачи, обеспечения метрологической прослеживаемости результатов измерений на пластине, а также метрологического статуса применяемых СВЧ-измерительных установок и комплексов. В ходе дискуссии были затронуты проблемы совместимости калибровочных подложек и измерительных зондов с действующим оборудованием.

По итогам круглого стола определены пути решения ключевых задач обеспечения единства измерений комплексных коэффициентов отражения и передачи микроэлектронных структур на пластине. Реализация предложенных решений позволит повысить точность измерений при производстве продукции.

Источник: www.vniiftri.ru