Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.630-2007
Группа Т88.1
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification
ОКС 17.040.01
Дата введения 2008-02-01
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Наукоемкие технологии" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. N 98-ст
5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением N 1, утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2-2011)
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее - микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10
м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*
_______________
* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04 2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ Р 8 630 2007» устанавливает требования и методику поверки сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов в рамках государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ). Основное назначение стандарта заключается в обеспечении точности и достоверности измерений, производимых с помощью данного типа микроскопов, что является критически важным для научных исследований, промышленности и контроля качества. Стандарт применяется в различных областях, включая материаловедение, нанотехнологии и биомедицинские исследования.
Ключевыми аспектами, регламентируемыми данным стандартом, являются методы поверки, параметры измерений и требования к оборудованию. В документе подробно описаны процедуры, которые необходимо соблюдать для проведения поверки, включая условия испытаний, необходимые для получения корректных результатов. Также рассматриваются измеряемые величины, такие как сила взаимодействия между зондом и образцом, а также разрешающая способность микроскопа.
Целевая аудитория стандарта включает производителей микроскопов, научные лаборатории, а также контролирующие и сертификационные органы. Стандарт предоставляет необходимую информацию для обеспечения соответствия оборудования современным требованиям и нормам, что способствует повышению доверия к результатам измерений и их интерпретации. Это особенно важно в условиях растущих требований к качеству и точности научных данных.
Практическое значение стандарта заключается в улучшении качества измерений, что, в свою очередь, влияет на безопасность и надежность используемого оборудования. Соблюдение требований данного стандарта способствует повышению уровня охраны труда, так как гарантирует, что измерения проводятся с высокой точностью, минимизируя риски, связанные с ошибками в данных. Кроме того, стандарт способствует совместимости различных моделей микроскопов и методик их поверки, что облегчает взаимодействие между различными лабораториями и исследовательскими учреждениями.
Изменение N 1 к стандарту включает уточнения в методах поверки и добавление новых рекомендаций по проведению испытаний. Эти дополнения направлены на улучшение ясности и доступности методики, а также на адаптацию к новым технологиям и требованиям, возникающим в процессе научных исследований и промышленного применения сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»