Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.631-2007
Группа Т88.1
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Methods for verification
ОКС 17.040.01
Дата введения 2008-02-01
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)".
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Наукоемкие технологии" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. N 99-ст
5 ИЗДАНИЕ (Декабрь 2010 г.) с Изменением N 1, утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2-2011)
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10
м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*
________________
* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика поверки» с изменением N 1 устанавливает требования и методы поверки электронных растровых микроскопов, обеспечивая единство измерений в данной области. Он предназначен для применения в научных и производственных лабораториях, а также в организациях, занимающихся контролем качества и метрологией.
Основное назначение документа заключается в стандартизации процессов поверки электронных растровых микроскопов, что включает в себя определение методов измерений, параметров и требований к оборудованию. В частности, регламентируются процедуры проверки точности и стабильности измерений, а также условия, при которых должны проводиться испытания, что способствует обеспечению достоверности результатов измерений в различных условиях эксплуатации.
Важные технические детали документа включают классификацию микроскопов, а также перечень измеряемых величин, таких как разрешение, увеличение и параметры изображения. Установлены конкретные условия испытаний, включая температурные и влажностные режимы, что позволяет обеспечить стабильность и повторяемость результатов. Также прописаны требования к квалификации персонала, осуществляющего поверку, что гарантирует высокое качество выполнения работ.
Целевая аудитория данного стандарта включает производителей электронных растровых микроскопов, метрологические лаборатории, а также контролирующие органы, ответственные за обеспечение единства измерений. Стандарт служит основой для разработки внутренних регламентов и процедур поверки, что способствует унификации подходов к контролю качества и повышению доверия к результатам измерений.
Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество научных исследований, а также на охрану труда, поскольку правильная поверка оборудования позволяет избежать ошибок в измерениях, которые могут привести к неверным выводам и потенциальным рискам. Изменения, внесённые в документ, касаются уточнения методик и улучшения описания процедур, что делает его более актуальным для современных условий эксплуатации электронных растровых микроскопов.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления (с Изменением N 1)
ГОСТ 27843-2006 (ИСО 230-2:1997) Испытания станков. Определение точности и повторяемости позиционирования осей с числовым программным управлением (Переиздание)
ГОСТ Р МЭК 60745-2-1-2006 Машины ручные электрические. Безопасность и методы испытаний. Часть 2-1. Частные требования к сверлильным и ударным сверлильным машинам
ГОСТ Р ИСО 3834-1-2007 Требования к качеству выполнения сварки плавлением металлических материалов. Часть 1. Критерии выбора соответствующего уровня требований (Переиздание)