Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.629-2007
Группа Т88.1
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification
ОКС 17.040.01
Дата введения 2008-02-01
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Наукоемкие технологии" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. N 97-ст
5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением N 1, утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2-2011)
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее - рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 до 10
м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*
______________
* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
Доступ к полной версии документа ограничен
Документ «ГОСТ Р 8 629 2007» устанавливает методику поверки рельефных нанометровых мер с трапецеидальным профилем элементов в рамках Государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ). Он предназначен для применения в научных и производственных лабораториях, а также в организациях, занимающихся метрологией, для обеспечения точности и достоверности измерений в нанометровом диапазоне.
Основное назначение стандарта заключается в регламентации методов поверки, параметров и требований, необходимых для оценки точности рельефных мер. В документе описаны процедуры, которые должны соблюдаться при проведении поверки, включая условия испытаний, используемое оборудование и алгоритмы обработки результатов. Стандарт также определяет измеряемые величины, что позволяет унифицировать подход к поверке в различных организациях.
Ключевыми аспектами, регламентируемыми документом, являются точность измерений, условия испытаний, а также требования к метрологическому обеспечению. Стандарт включает в себя классификацию рельефных мер, что способствует более эффективному их использованию в различных областях, таких как нанотехнологии, микроэлектроника и материаловедение. Поверка рельефных мер по данному стандарту позволяет обеспечить необходимую точность и надежность результатов измерений.
Целевая аудитория данного стандарта включает производителей измерительных приборов, метрологические лаборатории, а также контролирующие органы, ответственные за соблюдение стандартов измерений. Документ служит основой для обеспечения единства измерений в стране и способствует повышению качества продукции, что, в свою очередь, влияет на безопасность и эффективность процессов, связанных с высокими технологиями.
Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность и качество продукции, а также на охрану труда. Совместимость измерительных систем и оборудования, основанная на единых методах поверки, позволяет снизить риски ошибок и повысить уровень доверия к результатам измерений. Изменения, внесенные в документ, касаются уточнения методических аспектов поверки и обновления требований к условиям испытаний, что отражает современные достижения в области метрологии и технологий.
Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.
Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»
Возможно вас заинтересуют
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 12.4.230.1-2007 (ЕН 166-2002) Система стандартов безопасности труда (ССБТ). Средства индивидуальной защиты глаз. Общие технические требования (с Поправкой)
ГОСТ Р 52684-2006 Средства лекарственные для ветеринарного применения. Правила приемки, методы отбора проб (с Поправкой)
ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика поверки (с Изменением N 1)
ГОСТ 27843-2006 (ИСО 230-2:1997) Испытания станков. Определение точности и повторяемости позиционирования осей с числовым программным управлением (Переиздание)