IEC 62047-12-2011 Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures Полупроводниковые устройства – Микроэлектромеханические устройства – Часть 12: Метод испытания усталости изгиба тонких пленок с использованием резонансных колебаний структур MEMS
НД 496019165