ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки - Информпроект Групп
Картотека документов

Электронный фонд правовой
и нормативно-технической документации

ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

     
     ГОСТ Р 8.636-2007

Группа Т88.1

     
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Methods for calibration




ОКС 17.040.01

Дата введения 2008-08-01

Предисловие


Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" и государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Нанотехнологии и наноматериалы" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. N 319-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет



1 Область применения


Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.



2 Нормативные ссылки


В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

________________

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.



ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.



3 Термины и определения


В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

Доступ к полной версии документа ограничен

Название документа
ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки
Номер документа
8.636-2007
Вид документа
Нормативно-технический документ
Статус
Скрыто
Дата принятия
Скрыто
Дата начала действия
Скрыто

Документ «ГОСТ Р 8 636 2007» представляет собой методику калибровки электронных растровых микроскопов в рамках Государственной системы обеспечения единства измерений (ГСИ). Основное назначение данного стандарта заключается в установлении единых требований к процессам калибровки, что обеспечивает точность и достоверность измерений, получаемых с помощью данного оборудования. Сфера применения охватывает как научные исследовательские лаборатории, так и производственные предприятия, использующие электронные растровые микроскопы для анализа материалов и поверхностей.

Стандарт регламентирует методы калибровки, параметры, которые необходимо учитывать, а также требования к оборудованию и условиям проведения испытаний. В частности, описываются процедуры, позволяющие определить разрешающую способность микроскопа, его контраст и другие важные характеристики. Также документ включает рекомендации по выбору эталонов и методам их применения в процессе калибровки, что позволяет обеспечить высокую степень точности измерений.

Ключевые технические детали включают условия испытаний, такие как температура, влажность и другие факторы, которые могут повлиять на результаты калибровки. Важным аспектом является классификация измеряемых величин, что позволяет пользователям стандарта точно понимать, какие параметры необходимо контролировать и как это делать. Также в документе предусмотрены требования к квалификации персонала, проводящего калибровку, что гарантирует высокие стандарты выполнения работ.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей электронных растровых микроскопов, исследовательские и контрольные лаборатории, а также органы, ответственные за метрологический контроль. Стандарт способствует улучшению качества измерений, что, в свою очередь, положительно сказывается на безопасности и надежности производственных процессов, а также на охране труда. Внедрение данного стандарта позволяет обеспечить совместимость результатов измерений, что является важным для международного сотрудничества в области науки и техники.

В последующих редакциях документа были внесены изменения, касающиеся уточнения методов калибровки и расширения перечня измеряемых параметров. Эти дополнения направлены на улучшение точности и надежности калибровки, а также на адаптацию к новым технологиям и методам, используемым в современных электронных растровых микроскопах. Таким образом, «ГОСТ Р 8 636 2007» представляет собой важный инструмент для обеспечения единства измерений в области микроскопии и научных исследований.

Описание документа носит справочный характер, достоверность этого материала не гарантируется.

Чтобы получить полный доступ к этому и другим документам, приобретайте доступ к Информационной сети «Техэксперт» - лидеру в области комплексного обеспечения предприятий нормативно-технической документацией.

Нормативно-техническая документация (ГОСТ, СНиП, ГН, Р, ГЭСН и др.)
Нормативно-правовые акты органов государственной власти (законы, законопроекты, постановления)
Технологическая документация (чертежи, схемы и др.)
Аналитические материалы
Классификаторы и словари
Справочная информация
Все документы и информация о них
доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс»