BS EN 62047-25-2016 Semiconductor devices — Micro-electromechanical devices Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology — Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area Полупроводниковые устройства — Микроэлектромеханические устройства Часть 25: Технология изготовления МЭМС на основе кремния — Метод измерения сжато-растягивающей и сдвиговой прочности микросвязи

Документ «BS EN 62047-25-2016» установлен для регулирования технологий производства микромеханических устройств на основе кремния (MEMS). Он описывает методы и процедуры испытания, направленные на определение прочности соединительных зон, используемых для микрообработки. Поскольку микробондинговые соединения играют ключевую роль в функциональности MEMS, данный стандарт необходим для обеспечения стабильности и надежности этих компонентов.

Стандарт охватывает методы измерения силы на сжатие и сдвиг, а также параметры, касающиеся условий испытаний, такие как температура и влажность, которые могут повлиять на результаты. Ключевые требования включают точность измерений и процедуру калибровки проверки испытательного оборудования. Оговорены также допустимые пределы вариации получаемых значений, что позволяет обеспечить воспроизводимость и сопоставимость результатов.

Целевая аудитория данного стандарта включает производителей MEMS, вспомогательные лаборатории, а также органы, осуществляющие контроль качества и сертификацию. Установленные в документе методы и процедуры направлены на повышение уровня доверия к продукции, что, в свою очередь, способствует снижению рисков, связанных с безопасностью и качеством микромеханических устройств.

Практическое значение стандарта заключается в его влиянии на безопасность, качество и эффективность производственных процессов. Внедрение данного стандарта позволяет значительно улучшить контроль за параметрами, которые могут затрагивать охрану труда и совместимость различных технологий. Это, в свою очередь, ведет к повышению общего уровня безопасности продукции на рынке.

Кроме того, документ может быть обновлён с учётом новых технологий и методов в области микрообработки. Изменения могут включать уточнения в процедурах испытаний или дополнения новых методов, что важно учитывать при его применении. Обеспечение актуальности стандарта позволяет производителям оставаться конкурентоспособными на rapidly evolving рынке.